माइक्रोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम: Difference between revisions

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1986 में DARPA को प्रस्तुत प्रस्ताव पहले माइक्रोइलेक्ट्रोमैकेनिकल शब्द का परिचय दिया

MEMS माइक्रोकंटिलेवर एक स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप के अंदर प्रतिध्वनित होता है

माइक्रोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम, (या सूक्ष्म-इलेक्ट्रॉनिकी और सूक्ष्म-इलेक्ट्रॉनिकी सिस्टम) के रूप में भी लिखा जाता है और संबंधित माइक्रोमैक्ट्रोनिक्स और माइक्रोसिस्टम्स सूक्ष्म उपकरणों की तकनीक का गठन करते हैं, विशेष रूप से उन क्षेत्रो के लिए जो गतिशील हैं। वे नैनोस्केल पर नैनोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम और नैनो टेक्नोलॉजी में विलय होते हैं। MEMS को जापान में माइक्रोमाशीन और यूरोप में माइक्रोसिस्टम टेक्नोलॉजी के रूप में भी जाना जाता है।

MEMS आकार में 1 और 100 माइक्रोमीटर (यानी 0.001 से 0.1 मिमी) के बीच घटकों से बने होते हैं, और MEMS उपकरण आम तौर पर 20 माइक्रोमीटर से एक मिलीमीटर (यानी 0.02 से 1.0 मिमी) तक आकार में होते हैं, हालांकि घटक सारणी (जैसे, डिजिटल माइक्रोमिरर उपकरण) में व्यवस्थित घटक 1000 मिमी 2 से अधिक हो सकते हैं।.^[1] वे आम तौर पर एक केंद्रीय इकाई से मिलकर डेटा (एक एकीकृत सर्किट चिप जैसे माइक्रोप्रोसेसर) और कई घटकों को संसाधित करते हैं जो आसपास (जैसे माइक्रोसेन्सर्स) के साथ एक दूसरे को प्रभावित करते हैं।^[2] MEMS के बड़े सतह क्षेत्र से आयतन अनुपात के कारण, परिवेश विद्युत चुंबकत्व (जैसे, इलेक्ट्रोस्टैटिक चार्ज और चुंबकीय क्षण), और द्रव गतिकी (जैसे, सतह तनाव और चिपचिपाहट) द्वारा उत्पन्न बल बड़े पैमाने पर यांत्रिक उपकरणों की तुलना में अधिक महत्वपूर्ण डिजाइन के कारण हैं। MEMS प्रौद्योगिकी आणविक नैनो प्रौद्योगिकी या आणविक इलेक्ट्रॉनिक्स से अलग है जिसमें बाद के दो को सतह रसायन शास्त्र पर भी विचार करना चाहिए।

प्रौद्योगिकी के अस्तित्व से पहले बहुत छोटी मशीनों की क्षमता की सराहना की गई थी जो उन्हें बना सकती थी (उदाहरण के लिए, रिचर्ड फेनमैन का 1959 का प्रसिद्ध व्याख्यान देयर्स पलेँटी ऑफ रूम एट द बॉटम)। mems तब व्यावहारिक हो गए जब उन्हें संशोधित अर्धचालक उपकरण निर्माण प्रौद्योगिकियों का उपयोग करके तैयार किया जा सकता था, आमतौर पर इलेक्ट्रॉनिक्स बनाने के लिए उपयोग किया जाता था।^[3] इनमें मोल्डिंग और प्लेटिंग, गीले टीचिंग और ड्राई ईचिंग, इलेक्ट्रिकल डिसचार्ज मशीनिंग और छोटे उपकरणों के निर्माण में सक्षम अन्य प्रौद्योगिकियां शामिल हैं।

इतिहास

MEMS प्रौद्योगिकी की जड़ें सिलिकॉन क्रांति में हैं, जिसे 1959 से दो महत्वपूर्ण सिलिकॉन अर्धचालक आविष्कारों में खोजा जा सकता है: फेयरचाइल्ड सेमीकंडक्टर में रॉबर्ट नोयस द्वारा मोनोलिथिक एकीकृत सर्किट (IC) चिप, और बेल लैब्स में मोहम्मद एम. अटाला और डॉन कहंग द्वारा MOSFET (मेटल-ऑक्साइड-माइक्रो-सेमीकंडक्टर फील्ड-इफेक्ट ट्रांजिस्टर, या MOS ट्रांजिस्टर)। MOSFET स्केलिंग, IC चिप्स पर (जैसा कि मूर के नियम और डेनार्ड स्केलिंग द्वारा भविष्यवाणी की गई थी) MOSFETs के लघुकरण ने इलेक्ट्रॉनिक्स के लघुकरण का नेतृत्व किया। इसने मैकेनिकल सिस्टम के लघुकरण के लिए नींव रखी, सिलिकॉन अर्धचालक प्रौद्योगिकी पर आधारित माइक्रोमाशीनिंग प्रौद्योगिकी के विकास के साथ, जैसा कि इंजीनियरों ने महसूस करना शुरू किया कि सिलिकॉन चिप्स और MOSFETs आसपास के वातावरण और प्रक्रिया जैसे रसायनों, गति और प्रकाश एक दूसरे को प्रभावित और संचार कर सकते हैं। 1962 में हनीवेल द्वारा पहले सिलिकॉन प्रेशर सेंसर में से एक को आइसोट्रोपिक रूप से माइक्रोमैच किया गया था।^[4]

MEMS उपकरण का एक प्रारंभिक उदाहरण अनुनाद-गेट ट्रांजिस्टर है, जो सन् 1965 में हार्वे सी. नाथसन द्वारा विकसित MOSFET का रूपांतरण है।^[5] एक और प्रारंभिक उदाहरण है प्रतिध्वनि, एक इलेक्ट्रोमैकेनिकल मोनोलिथिक प्रतिध्वनिकार, जो 1966 और 1971 के बीच रेमंड जे विल्फिंगर द्वारा पेटेंट कराया गया था।^[6]^[7] 1970 से 1980 के दशक के दौरान, भौतिक, रासायनिक, जैविक और पर्यावरणीय मापदंडों को मापने के लिए कई MOSFET माइक्रोसेंसर विकसित किए गए थे। ^[8] MEMS शब्द 1986 में पेश किया गया था।^[9]

प्रकार

MEMS स्विच प्रौद्योगिकी के दो मूल प्रकार हैं: संधारित्र और ओमिक। एक संधारित्र MEMS स्विच एक गतिशील प्लेट या सेंसिंग तत्व का उपयोग करके विकसित किया जाता है, जो संधार्यता को बदल देता है।^[10] ओमिक स्विचों को इलेक्ट्रोस्टैटिक रूप से नियंत्रित कैंटीलीवरों द्वारा नियंत्रित किया जाता है।^[11] ओमिक MEMS स्विच MEMS प्रवर्तक (कैंटीलीवर) की धातु के संपर्क से विफल हो सकते हैं, क्योंकि कैंटिलीवर समय के साथ ख़राब हो सकते हैं।^[12]

MEMS निर्माण के लिए सामग्री

MEMS का निर्माण सेमीकंडक्टर उपकरण फैब्रिकेशन में प्रौद्योगिकी प्रक्रिया से हुआ है। प्राचीन तकनीक सामग्री परतों का निक्षेपण है, फोटोलिथोग्राफी और नक़्क़ाशी द्वारा आवश्यक आकृति का निर्माण कर सकते है।^[13]

सिलिकॉन

सिलिकॉन आधुनिक उद्योग में उपभोक्ता इलेक्ट्रॉनिक्स में प्रयुक्त सर्वाधिक एकीकृत परिपथों के निर्माण के लिए प्रयुक्त सामग्री है। पैमाने की अर्थव्यवस्थाएं, सस्ती उच्च गुणवत्ता वाली सामग्री की तैयार उपलब्धता और इलेक्ट्रॉनिक कार्यक्षमता को शामिल करने की क्षमता, सिलिकॉन को विभिन्न प्रकार के MEMS अनुप्रयोगों के लिए आकर्षक बनाती हैं। सिलिकॉन के भौतिक गुणों के माध्यम से भी महत्वपूर्ण लाभ हैं। एकल क्रिस्टल रूप में, सिलिकॉन लगभग पूर्ण हूकेन सामग्री है, जिसका अर्थ है कि जब यह लचीला होता है तो वास्तव में कोई शैथिल्य नहीं होता है और इसलिए लगभग कोई ऊर्जा अपव्यय नहीं होता है। अत्यधिक दोहराने योग्य गति के साथ-साथ, यह सिलिकॉन को बहुत विश्वसनीय भी बनाता है क्योंकि यह बहुत कम थकान महसूस करता है और बिना टूटे अरबों से खरबों चक्रों की सीमा का जीवनकाल हो सकता है। सिलिकॉन पर आधारित अर्धचालक नैनोस्ट्रक्चर विशेष रूप से सूक्ष्म इलेक्ट्रॉनिकी और mems के क्षेत्र में अधिक महत्व प्राप्त कर रहे हैं। सिलिकॉन के थर्मल ऑक्सीडेशन के माध्यम से निर्मित सिलिकॉन नैनोवायर इलेक्ट्रोकेमिकल रूपांतरण और भंडारण में आगे रुचि रखते हैं, जिसमें नैनोवायर बैटरी और फोटोवोल्टिक सिस्टम शामिल हैं।

पॉलिमर

हालांकि इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग सिलिकॉन उद्योग के लिए पैमाने की अर्थव्यवस्था प्रदान करता है, क्रिस्टलीय सिलिकॉन अभी भी उत्पादन के लिए एक जटिल और अपेक्षाकृत महंगी सामग्री है। दूसरी ओर पॉलिमर का उत्पादन बड़ी मात्रा में किया जा सकता है, जिसमें कई प्रकार की भौतिक विशेषताएं होती हैं। MEMS उपकरण, इंजेक्शन मोल्डिंग, उभार या स्टीरियोलिथोग्राफी जैसी प्रक्रियाओं द्वारा पॉलिमर से बनाए जा सकते हैं और विशेष रूप से माइक्रोफ्लुइडिक अनुप्रयोगों जैसे डिस्पोजेबल रक्त परीक्षण कार्ट्रिज के लिए उपयुक्त हैं।

धातु

धातुओं का उपयोग MEMS तत्वों को बनाने के लिए भी किया जा सकता है। जबकि धातुओं में यांत्रिक गुणों के संदर्भ में सिलिकॉन द्वारा प्रदर्शित कुछ फायदे नहीं होते हैं, जब उनकी सीमाओं के भीतर उपयोग किया जाता है, तो धातुएं बहुत उच्च स्तर की विश्वसनीयता प्रदर्शित कर सकती हैं। धातुओं को विद्युत आवरण, वाष्पीकरण और कणक्षेपण प्रक्रियाओं द्वारा जमा किया जा सकता है। आमतौर पर इस्तेमाल की जाने वाली धातुओं में सोना, निकल, एल्यूमीनियम, तांबा, क्रोमियम, टाइटेनियम, टंगस्टन, प्लैटिनम और चांदी शामिल हैं।

सिरेमिक

ग्राउंड प्लेट के ऊपर एक्स-आकार के टिन बीम के इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप चित्र (ऊंचाई अंतर 2.5 माइक्रोन)।बीच में क्लिप के कारण, एक बढ़ती रीसेट बल विकसित होता है जब बीम नीचे की ओर झुकता है।सही आंकड़ा क्लिप का एक आवर्धन दिखाता है।^[14]

सिलिकॉन, एल्यूमीनियम और टाइटेनियम के नाइट्राइड के साथ-साथ सिलिकॉन कार्बाइड और अन्य सिरेमिक भी सामग्री गुणों के लाभदायक संयोजनों के कारण MEMS के निर्माण में तेजी से लागू होते हैं। AlN वर्ट्ज़ाइट संरचना में क्रिस्टलीकरण करता है और इस प्रकार पाइरोइलेक्ट्रिक और पीजोइलेक्ट्रिक गुणों को दिखाता है, उदाहरण के लिए, सामान्य और शियर बलों के प्रति संवेदनशीलता के साथ सेंसर को सक्षम करता है।^[15] दूसरी ओर,टिन, एक उच्च विद्युत चालकता और बड़े लोचदार मॉड्यूलस को प्रदर्शित करता है, जिससे अल्ट्राथिन बीम के साथ इलेक्ट्रोस्टैटिक मेमेस क्रियात्मक योजनाओं को लागू करना संभव हो जाता है। इसके अलावा, बायोकोरोसियन के खिलाफ टिन का उच्च प्रतिरोध जैविक वातावरण में अनुप्रयोगों के लिए सामग्री को योग्य बनाता है। यह आंकड़ा एक टिन प्लेट के ऊपर 50 nm पतली मोड़ योग्य टिन बीम के साथ मेम्स बायोसेंसर की एक इलेक्ट्रॉन-सूक्ष्म तस्वीर दिखाता है। दोनों को एक संधारित्र के विपरीत इलेक्ट्रोड के रूप में संचालित किया जा सकता है, क्योंकि बीम को विद्युत रूप से अलग करने वाली पार्श्व दीवारों में निर्धारित किया जाता है। जब किसी तरल पदार्थ को गुहा में निलंबित किया जाता है तो इसकी चिपचिपाहट बीम को जमीन की प्लेट पर विद्युत आकर्षण द्वारा झुकने और झुकने के वेग को मापने से प्राप्त की जा सकती है।^[14]

MEMS मूल प्रक्रियाएं

निक्षेपण प्रक्रियाएं

MEMS प्रसंस्करण में बुनियादी बिल्डिंग ब्लॉकों में से एक सामग्री की पतली फिल्मों को एक माइक्रोमीटर के बीच कहीं भी मोटाई के साथ लगभग 100 माइक्रोमीटर जमा करने की क्षमता है। NEMS की प्रक्रिया समान है, हालांकि फिल्म डिपोजिटमेंट की माप कुछ नैनोमीटर से एक माइक्रोमीटर तक होती है। दो प्रकार की निक्षेपण प्रक्रियाएं निम्नलिखित हैं।

भौतिक निक्षेपण

भौतिक वाष्प निक्षेपण (PVD) एक प्रक्रिया होती है जिसमें एक पदार्थ को एक लक्ष्य से निकाला जाता है और एक सतह पर जमा किया जाता है। इसे करने के लिए तकनीकों में स्पटरिंग की प्रक्रिया शामिल है, जिसमें एक आयन बीम एक लक्ष्य से परमाणुओं को मुक्त करती है, उन्हें मध्यवर्ती स्थान के माध्यम से आगे बढ़ने और वांछित कार्यद्रव्य पर जमा करने की अनुमति देती है, और वाष्पीकरण, जिसमें एक सामग्री को एक लक्ष्य से वाष्पीकृत किया जाता है जो या तो गर्मी (थर्मल वाष्पीकरण) या एक वैक्यूम प्रणाली में एक इलेक्ट्रॉन बीम (ई-बीम वाष्पीकरण) का उपयोग करता है।

रासायनिक निक्षेपण

रासायनिक निक्षेपण तकनीकों में रासायनिक वाष्प निक्षेपण (CVD) शामिल हैं, जिसमें स्रोत गैस की एक धारा वांछित सामग्री को विकसित करने के लिए कार्यद्रव्य पर प्रतिक्रिया करती है। इसे आगे तकनीकी के विवरण के आधार पर श्रेणियों में विभाजित किया जा सकता है, उदाहरण के लिए LPCVD (कम दबाव वाले रासायनिक वाष्प निक्षेपण) और PECVD (प्लाज्मा-वर्धित रासायनिक वाष्प निक्षेपण)।

ऑक्साइड फिल्मों को थर्मल ऑक्सीडेशन की तकनीक से भी विकसित किया जा सकता है, जिसमें (आमतौर पर सिलिकॉन) वॉफर को सिलिकॉन डाइऑक्साइड की एक पतली सतह परत विकसित करने के लिए ऑक्सीजन और / या भाप के संपर्क में लाया जाता है।

पैटर्निंग

MEMS में पैटर्निंग एक पैटर्न का एक सामग्री में स्थानांतरण है।

लिथोग्राफी

MEMS संदर्भ में लिथोग्राफी आम तौर पर प्रकाश जैसे विकिरण स्रोत के चयनात्मक प्रदर्शन द्वारा एक पैटर्न को एक प्रकाश-संवेदी सामग्री में स्थानांतरित करता है। एक प्रकाश-संवेदी सामग्री एक सामग्री है जो विकिरण स्रोत के संपर्क में आने पर अपने भौतिक गुणों में परिवर्तन का अनुभव करती है। यदि एक प्रकाश-संवेदी सामग्री को चुनिंदा रूप से विकिरण के संपर्क में लाया जाता है ( उदाहरण के लिए कुछ विकिरण को मास्क करके सामग्री पर विकिरण के पैटर्न को उजागर सामग्री में स्थानांतरित कर दिया जाता है, क्योंकि उजागर और अनपेक्षित क्षेत्रों के गुण भिन्न होते हैं।

इस खुले क्षेत्र को तब हटाया जा सकता है या अंतर्निहित सब्सट्रेट के लिए एक मास्क प्रदान किया जा सकता है। फोटोलिथोग्राफी का उपयोग आम तौर पर धातु या अन्य पतली फिल्म डिपोजिट, गीले और सूखी नक़्क़ाशी के साथ किया जाता है। कभी-कभी, फोटोलिथोग्राफी का उपयोग किसी भी तरह के पोस्ट एचिंग के बिना संरचना बनाने के लिए किया जाता है। एक उदाहरण SU8 आधारित लेंस है जहाँ SU8 आधारित वर्ग ब्लॉक उत्पन्न होते हैं। फिर फोटोरेसिस्ट को एक अर्ध-गोला बनाने के लिए पिघलाया जाता है जो लेंस के रूप में कार्य करता है।

इलेक्ट्रॉन बीम शिला लिपि

इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी (अक्सर ई-बीम लिथोग्राफी के रूप में संक्षिप्त) एक फिल्म के साथ कवर की गई सतह पर एक पैटर्न वाले फैशन में इलेक्ट्रॉनों के एक बीम को स्कैन करने का अभ्यास है (जिसे प्रतिरोध कहा जाता है),^[16] ("प्रतिरोध को उजागर करना") और चुनिंदा रूप से या तो उजागर या गैर-विस्तारित क्षेत्रों को हटाने का अभ्यास है। इसका उद्देश्य, फोटोलिथोग्राफी के साथ, प्रतिरोध में बहुत छोटी संरचनाओं का निर्माण करना है जिसे बाद में सब्सट्रेट सामग्री में स्थानांतरित किया जा सकता है, अक्सर नक़्क़ाशी द्वारा। इसे एकीकृत सर्किटों के निर्माण के लिए विकसित किया गया था और इसका उपयोग नैनोटेक्नोलॉजी आर्किटेक्चर के निर्माण के लिए भी किया जाता है।

इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी का प्राथमिक लाभ यह है कि यह प्रकाश की विवर्तन सीमा को पार करने और नैनोमीटर रेंज में विशेषताएं बनाने के तरीकों में से एक है। मास्कलेस शिला लिपि के इस रूप में फोटोलिथोग्राफी, अर्धचालक घटकों के कम मात्रा में उत्पादन, और अनुसंधान और विकास में उपयोग किए जाने वाले फोटोमास्क-निर्माण में व्यापक उपयोग पाया गया है।

इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी की मुख्य सीमा थ्रूपुट है, अर्थात पूरे सिलिकॉन वेफर या ग्लास सब्सट्रेट को उजागर करने में बहुत समय लगता है। एक लंबा एक्सपोजर समय उपयोगकर्ता को बीम ड्रिफ्ट या अस्थिरता के लिए असुरक्षित छोड़ देता है जो एक्सपोजर के दौरान हो सकता है। इसके अलावा, दोबारा काम करने या फिर से डिजाइन करने के लिए प्रतिवर्तन समय अनावश्यक रूप से जोड़ा जाता है यदि पैटर्न को दूसरी बार नहीं बदला जा रहा है।

आयन बीम शिला लिपि

यह ज्ञात है कि फोकस-आयन बीम लिथोग्राफी में बेहद महीन रेखाएं (कम से कम 50 nm लाइन और स्थान हासिल किया गया है) बिना निकटता प्रभाव के लिखने की क्षमता है।^{[citation needed]} हालांकि, क्योंकि आयन-बीम शिला लिपि में लेखन क्षेत्र काफी छोटा है, छोटे क्षेत्रों को एक साथ जोड़कर बड़े क्षेत्र के पैटर्न बनाए जाने चाहिए।

आयन ट्रैक तकनीक

आयन ट्रैक तकनीक विकिरण प्रतिरोधी खनिजों, ग्लास और पॉलिमर पर लागू होने वाली लगभग 8 nm की रिज़ॉल्यूशन सीमा के साथ एक गहरा काटने वाला उपकरण है। यह बिना किसी विकास प्रक्रिया के पतली फिल्मों में छेद बनाने में सक्षम है। संरचनात्मक गहराई को या तो आयन सीमा या भौतिक मोटाई द्वारा परिभाषित किया जा सकता है। कई 104 तक के पहलू अनुपात तक पहुँचा जा सकता है। तकनीक एक परिभाषित झुकाव कोण पर आकार और बनावट सामग्री बना सकती है। यादृच्छिक पैटर्न, एकल-आयन ट्रैक संरचना और व्यक्तिगत एकल पटरियों से युक्त एक लक्ष्य पैटर्न उत्पन्न किया जा सकता है।

एक्स-रे शिला लिपि

एक्स-रे शिला लिपि एक प्रक्रिया है जिसका उपयोग इलेक्ट्रॉनिक उद्योग में एक पतली फिल्म के हिस्सों को चुनिंदा रूप से हटाने के लिए किया जाता है। इसमें एक्स-रे का उपयोग एक मास्क से एक प्रकाश-संवेदी रासायनिक फोटोप्रतिरोधी, या 'प्रतिरोधी' में एक ज्यामितीय पैटर्न को स्थानांतरित करने के लिए किया जाता है। फिर रासायनिक उपचार की एक श्रृंखला फोटोप्रतिरोधी के नीचे सामग्री में उत्पादित पैटर्न को उत्कीर्ण करती है।

डायमंड पैटर्निंग

नैनोडायमंड्स की सतह पर बिना किसी नुकसान के पैटर्न बनाने या बनाने का एक सरल तरीका फोटोनिक उपकरणों की एक नई पीढ़ी का नेतृत्व कर सकता है। ^[17]

डायमंड पैटरिंग डायमंड MEMS बनाने की एक विधि है। यह सिलिकॉन जैसे सब्सट्रेट के लिए हीरे की फिल्मों के लिथोग्राफिक अनुप्रयोग द्वारा प्राप्त किया जाता है। पैटर्न को सिलिकॉन डाइऑक्साइड मास्क के माध्यम से चयनात्मक निक्षेपण द्वारा या माइक्रोमशीनिंग या केंद्रित आयन बीम मिलिंग के बाद निक्षेपण द्वारा बनाया जा सकता है।^[18]

नक़्क़ाशी प्रक्रियाएं

नक़्क़ाशी प्रक्रियाओं की दो बुनियादी श्रेणियां हैं: गीली नक़्क़ाशी और सूखी नक़्क़ाशी। पूर्व में, सामग्री को एक रासायनिक समाधान में डुबो दिया जाता है। बाद में, सामग्री को प्रतिक्रियाशील आयनों या एक वाष्प चरण वगैरह का उपयोग करके बाहर या विघटित किया जाता है।^[19]^[20]

गीला नक़्क़ाशी

गीले रासायनिक नक़्क़ाशी में एक सब्सट्रेट को एक समाधान में डुबोकर सामग्री को चयनात्मक रूप से हटाने में शामिल होता है जो इसे भंग करता है। इस नक़्क़ाशी प्रक्रिया की रासायनिक प्रकृति एक अच्छी चयनात्मकता प्रदान करती है, जिसका अर्थ है कि लक्ष्य सामग्री की नक़्क़ाशी दर मास्क सामग्री की तुलना में काफी अधिक है यदि सावधानी से चुना जाए। गीली नक़्क़ाशी या तो आइसोट्रोपिक एटचैंट्स या एनिसट्रोपिक वेट एटचैंट्स का उपयोग करके किया जा सकता है। क्रिस्टलीय सिलिकन के सभी दिशाओं में लगभग समान दरों पर आइसोट्रोपिक वेट एटच। अन्य समतल की तुलना में तेजी से दरों पर कुछ क्रिस्टल समतल के साथ एनिसोट्रोपिक वेट एटचैंट्स, जिससे अधिक जटिल 3-डी माइक्रोस्ट्रक्चर को लागू करने की अनुमति मिलती है।

गीले अनिसोट्रोपिक इचेंट का उपयोग अक्सर बोरॉन ईच स्टॉप के साथ संयोजन में किया जाता है, जिसमें सिलिकॉन की सतह को बोरॉन के साथ भारी मात्रा में डोप किया जाता है, जिसके परिणामस्वरूप सिलिकॉन सामग्री परत होती है जो गीले वगैरह के लिए प्रतिरोधी होती है। इसका उपयोग उदाहरण के लिए MEWS प्रेशर सेंसर निर्माण में किया गया है।

आइसोट्रोपिक नक़्क़ाशी

नक़्क़ाशी सभी दिशाओं में समान गति से आगे बढ़ती है। मास्क में लंबे और संकरे छेद सिलिकॉन में वी-आकार के खांचे पैदा करेंगे। इन खांचे की सतह परमाणु रूप से चिकनी हो सकती है यदि नक़्क़ाशी सही ढंग से की जाती है, जिसमें आयाम और कोण बेहद सटीक होते हैं।

अनिसोट्रोपिक नक़्क़ाशी

सिलिकॉन जैसे कुछ एकल क्रिस्टल सामग्री में सब्सट्रेट के क्रिस्टलोग्राफिक ओरिएंटेशन के आधार पर अलग-अलग हाइचिंग दरें होंगी। इसे एनिसोट्रोपिक हाइचिंग के रूप में जाना जाता है और सबसे आम उदाहरणों में से एक कोह (पोटाज़ियम हाइड्रॉक्साइड) में सिलिकॉन की खुजली है, जहां Si <111>समतल अन्य समतलीय की तुलना में लगभग 100 गुना धीमी गति के होते हैं। इसलिए, एक (100) - Si वॉफर में एक आयताकार छेद नक़्क़ाशी करने के परिणामस्वरूप एक पिरामिड के आकार का ईच पिट होता है जिसमें 54.7 डिग्री दीवारें होती हैं, बजाय इसके कि एक छिद्र के साथ घुमावदार पार्श्व दीवारों के साथ जैसा कि आइसोट्रोपिक हाइचिंग है।

HF नक़्क़ाशी

हाइड्रोफ्लोरिक एसिड आमतौर पर सिलिकॉन डाइऑक्साइड (sio) के लिए एक जलीय निक्षारक के रूप में उपयोग किया जाता है। SiO2 के लिए BOX के रूप में भी जाना जाता है), आमतौर पर 49% केंद्रित रूप में, 5:1, 10:1 या 20:1 BOE (बफर ऑक्साइड वगैरह) या BHF (बफ़र्ड HF)। वे पहली बार मध्ययुगीन काल में कांच की नक़्क़ाशी के लिए उपयोग किए गए थे। जब तक प्रक्रिया चरण को RIE द्वारा प्रतिस्थापित नहीं किया गया, तब तक गेट ऑक्साइड को पैटर्न करने के लिए IC निर्माण में इसका उपयोग किया गया था।

हाइड्रोफ्लोरिक एसिड को क्लीनरूम में अधिक खतरनाक एसिड में से एक माना जाता है। यह संपर्क में आने पर त्वचा में प्रवेश करता है और यह सीधे हड्डी तक फैल जाता है। इसलिए, जब तक बहुत देर हो चुकी होती है, तब तक नुकसान का एहसास नहीं होता है।

इलेक्ट्रोकेमिकल नक़्क़ाशी

सिलिकॉन के डोपेंट-सेलेक्टिव (dopant-selective) हटाने के लिए इलेक्ट्रोकेमिकल ईटीएफिंग (ECE) एक आम तरीका है जो स्वचालित और चुनिंदा रूप से नियंत्रित करने के लिए है। एक सक्रिय p-n डायोड जंक्शन की आवश्यकता होती है, और किसी भी प्रकार का डोपेंट सामग्री हो सकता है। बोरॉन सबसे आम एट-स्टॉप डोपेंट है। ऊपर वर्णित गीले एनिसोट्रोपिक एचिंग के संयोजन में, ECE का उपयोग वाणिज्यिक पीजोरेसिस्टिव सिलिकॉन प्रेशर सेंसर में सिलिकॉन डायफ्राम मोटाई को नियंत्रित करने के लिए सफलतापूर्वक किया गया है। सेलेक्टिव रूप से डोपेड क्षेत्रों को या तो सिलिकॉन के आरोपण, विसरण या अधिस्तरी वृद्धि द्वारा बनाया जा सकता है।

सूखी नक़्क़ाशी

वाष्प नक़्क़ाशी

क्सीनन डिफ्लुओराइड (xenon difluoride)

क्सीनन डिफ्लुओराइड (XeF
₂) सिलिकॉन के लिए एक शुष्क वाष्प चरण है जो मूलतः कैलिफोर्निया विश्वविद्यालय, लॉस एंजिल्स में 1995 में mems के लिए लागू किया गया था।^[21]^[22] मुख्य रूप से सिलिकॉन को कम करके धातु और ढांकता हुआ संरचनाओं को जारी करने के लिए उपयोग किया जाता है, XeF
₂के विपरीत स्टिक-फ्री रिलीज का फायदा है। सिलिकॉन के लिए इसकी नक़्क़ाशी चयनात्मकता बहुत अधिक है, जो इसे फोटोरेसिस्ट, SiO
₂ के साथ काम करने की अनुमति देती है, सिलिकॉन नाइट्राइड, और मस्किंग के लिए विभिन्न धातुओं। सिलिकॉन के प्रति इसकी प्रतिक्रिया प्लास्मलेस है, जो विशुद्ध रूप से रासायनिक और स्वतःस्फूर्त है और अक्सर स्पंदित मोड में संचालित होता है।^[23] नक़्क़ाशी कार्रवाई के मॉडल उपलब्ध हैं,और विश्वविद्यालय प्रयोगशालाएं और विभिन्न वाणिज्यिक उपकरण इस दृष्टिकोण का उपयोग करके समाधान प्रदान करते हैं।

प्लाज्मा नक़्क़ाशी

आधुनिक VLSI प्रक्रियाएं गीले नक़्क़ाशी से बचते हैं और इसके बजाय प्लाज्मा नक़्क़ाशी का उपयोग करते हैं। प्लाज्मा के मापदंडों को समायोजित करके प्लाज्मा एचर कई मोड में काम कर सकते हैं। साधारण प्लाज्मा नक़्क़ाशी 0.1 और 5 टॉर के बीच संचालित होता है। (यह दबाव की इकाई, आमतौर पर वैक्यूम इंजीनियरिंग में उपयोग किया जाता है, लगभग 133.3 पास्कल के बराबर है) प्लाज्मा ऊर्जावान मुक्त रेडिकल्स का उत्पादन करता है, जो कि वाफर की सतह पर प्रतिक्रिया करता है। चूंकि सभी कोण से तटस्थ कण वाफर सम्मिश्रित करते हैं, इसलिए यह प्रक्रिया आइसोट्रोपिक है।

प्लाज़्मा नक़्क़ाशी आइसोट्रोपिक हो सकती है, यानी, एक पैटर्न वाली सतह पर पार्श्व अंडरकट दर का प्रदर्शन लगभग नीचे की ओर खोदने की दर के समान होता है, या अनिसोट्रोपिक हो सकता है, यानी, इसकी नीचे की ओर खोदने की दर की तुलना में एक छोटी पार्श्व अंडरकट दर प्रदर्शित करता है। इस तरह के अनिसोट्रॉपी को गहरी प्रतिक्रियाशील आयन नक़्क़ाशी में अधिकतम किया जाता है। प्लाज्मा नक़्क़ाशी के लिए अनिसोट्रॉपी शब्द का उपयोग अभिविन्यास-निर्भर नक़्क़ाशी के संदर्भ में उसी शब्द के उपयोग से नहीं किया जाना चाहिए।

प्लाज्मा के लिए स्रोत गैस में आमतौर पर क्लोरीन या फ्लोरीन से भरपूर छोटे अणु होते हैं। उदाहरण के लिए, कार्बन टेट्राक्लोराइड (CCl4) सिलिकॉन और एल्यूमीनियम का निक्षारण है, और ट्राइफ्लोरोमीथेन सिलिकॉन डाइऑक्साइड और सिलिकॉन नाइट्राइड का निक्षारण है। ऑक्सीजन युक्त प्लाज्मा का उपयोग फोटोरेसिस्ट ("राख") को ऑक्सीकरण करने और इसे हटाने की सुविधा के लिए किया जाता है।

आयन मिलिंग, या स्पटर नक़्क़ाशी, कम दबाव का उपयोग करता है, जो अक्सर 10−4 Torr (10 mPa) जितना कम होता है। यह महान गैसों के ऊर्जावान आयनों के साथ वेफर पर बमबारी करता है, अक्सर Ar+, जो गति को स्थानांतरित करके सब्सट्रेट से परमाणुओं को दस्तक देता है। क्योंकि नक़्क़ाशी आयनों द्वारा की जाती है, जो लगभग एक दिशा से वेफर तक पहुंचते हैं, यह प्रक्रिया अत्यधिक अनिसोट्रोपिक है। दूसरी ओर, यह खराब चयनशीलता प्रदर्शित करता है। रिऐक्टिव-आयन एटचिंग (RIE) स्पटर और प्लाज्मा हाइचिंग (10-3 और 10 एवरी टॉर के बीच) के बीच मध्यवर्ती स्थितियों के तहत संचालित होता है। डीप रिऐक्टिव-आयन एटचिंग (DRIE) RIE तकनीक को गहरे, संकीर्ण विशेषताओं का उत्पादन करने के लिए संशोधित करता है।

स्पंदन (Sputtering)

प्रतिक्रियाशील आयन नक़्क़ाशी (RIE)

प्रतिक्रियाशील-आयन नक़्क़ाशी (RIE) में, कार्यद्रव को एक रिएक्टर के अंदर रखा जाता है, और कई गैसों को पेश किया जाता है। गैस मिश्रण में एक प्लाज्मा RF शक्ति स्रोत का उपयोग करके प्रभावित करता है, जो गैस के अणुओं को आयनों में विभाजित करता है। आयनों को एक अन्य गैसीय सामग्री का निर्माण करते हुए, सामग्री की सतह को अंकित किया जा रहा है और उसके साथ प्रतिक्रिया करते हैं। इसे अभिक्रियाशील आयन नक़्क़ाशी के रासायनिक भाग के रूप में जाना जाता है। एक भौतिक भाग भी है, जो स्पटरिंग निक्षेपण प्रक्रिया के समान है। यदि आयनों में पर्याप्त ऊर्जा होती है, तो वे बिना किसी रासायनिक प्रतिक्रिया के परमाणुओं को निकाल सकते हैं। यह एक बहुत ही जटिल कार्य है, जो रासायनिक और भौतिक एचिंग को संतुलित करते हैं, क्योंकि समायोजित करने के लिए कई पैरामीटर हैं। संतुलन को बदल कर एचिंग के एनिसोट्रॉपी को प्रभावित करना संभव है, क्योंकि रासायनिक भाग आइसोट्रोपिक है और भौतिक भाग अत्यधिक अनिसोट्रोपिक है, संयोजन साइडवॉल बना सकता है जिसमें गोल से ऊर्ध्वाधर तक आकार होते हैं।

प्रगाढ RIE (DRIE) एक विशेष उपवर्ग है जो लोकप्रिय हो रहा है। इस प्रक्रिया में, लगभग ऊर्ध्वाधर साइडवाल के साथ सैकड़ों माइक्रोमीटरों की उच्च गहराई हासिल की जाती है। प्राथमिक प्रौद्योगिकी तथाकथित बोस्च प्रक्रिया पर आधारित है, जिसका नाम जर्मन कंपनी रॉबर्ट बॉश के नाम पर रखा गया है,^[24] जिसने मूल पेटेंट दाखिल किया था, जहां रिएक्टर में दो अलग-अलग गैस रचनाएं वैकल्पिक थीं। वर्तमान में, DRIE के दो प्रकार हैं। पहली भिन्नता में तीन अलग चरणों (मूल बॉश प्रक्रिया) शामिल हैं, जबकि दूसरी भिन्नता केवल दो चरणों में होती है।

पहली भिन्नता में, नक़्क़ाशी चक्र इस प्रकार है:

(i) SF
₆ आइसोट्रोपिक नक़्क़ाशी;
(ii) C
₄F
₈ निष्क्रियता;
(iii) SF
₆ फर्श की सफाई के लिए अनिसोट्रोपिक नक़्क़ाशी।

दूसरी भिन्नता में, चरणों (i) और (iii) को संयुक्त किया गया है।

दोनों विविधताएं समान रूप से संचालित होती हैं। C
₄F
₈ सब्सट्रेट की सतह पर एक बहुलक बनाता है, और दूसरी गैस संरचना ( sf 6 और O2 ) सब्सट्रेट की व्याख्या करता है। नक़्क़ाशी के भौतिक भाग द्वारा बहुलक को तुरंत हटा दिया जाता है, लेकिन केवल क्षैतिज सतहों पर और किनारे पर नहीं। चूंकि बहुलक केवल नक़्क़ाशी के रासायनिक भाग में बहुत धीरे-धीरे घुलता है, यह फुटपाथों पर बनता है और उन्हें नक़्क़ाशी से बचाता है। नतीजतन, 50 से 1 के पहलू अनुपात नक़्क़ाशी हासिल की जा सकती है। प्रक्रिया को आसानी से एक सिलिकॉन सब्सट्रेट के माध्यम से पूरी तरह से नक़्क़ाशी के लिए इस्तेमाल किया जा सकता है, और नक़्क़ाशी की दर गीली नक़्क़ाशी की तुलना में 3-6 गुना अधिक है।

डाई तैयारी

सिलिकॉन वेफर पर बड़ी संख्या में MEMS उपकरणों को तैयार करने के बाद, व्यक्तिगत डाई को अलग करना पड़ता है, जिसे अर्धचालक प्रौद्योगिकी में डाई तैयारी कहा जाता है। कुछ अनुप्रयोगों के लिए, वैफर की मोटाई को कम करने के लिए वैफर बैकग्रिंडिंग से पहले अलगाव किया जाता है। इसके बाद वॉफर डेसिंग को या तो शीतलन तरल या एक शुष्क लेजर प्रक्रिया का उपयोग करके किया जा सकता है जिसे स्टील्थ डेसिंग कहा जाता है।

MEMS विनिर्माण प्रौद्योगिकियां

थोक माइक्रोचिनिंग

बल्क माइक्रोमाशीनिंग सिलिकॉन-आधारित MEMS का सबसे पुराना प्रतिमान है। एक सिलिकॉन वेफर की पूरी मोटाई का उपयोग माइक्रो-मैकेनिकल संरचनाओं के निर्माण के लिए किया जाता है।^[20] सिलिकॉन विभिन्न एचिंग प्रक्रियाओं का उपयोग करके मशीनीकृत है। बल्क माइक्रोमाचिनिंग उच्च प्रदर्शन दबाव सेंसर और त्वरक को सक्षम करने में आवश्यक है जिसने 1980 और 90 के दशक में सेंसर उद्योग को बदल दिया।

सतह माइक्रोचिनिंग

सतह माइक्रोमाचाइनिंग सब्सट्रेट का उपयोग करने के बजाय संरचनात्मक सामग्री के रूप में एक सब्सट्रेट की सतह पर जमा परतों का उपयोग करता है।^[25] सतह माइक्रोमाशीनिंग को 1980 के दशक के अंत में प्लैनर एकीकृत सर्किट प्रौद्योगिकी के साथ अधिक संगत सिलिकॉन की माइक्रोमाशीनिंग प्रदान करने के लिए बनाया गया था, जिसका लक्ष्य MEMS और एकीकृत सर्किट को एक ही सिलिकॉन वेफर पर संयोजित करना था। मूल सतह माइक्रोमैचिनिंग अवधारणा पतली पॉलीक्रिस्टलाइन सिलिकॉन परतों पर आधारित थी, जो चल यांत्रिक संरचनाओं के रूप में पैटर्न किए गए थे और अंतर्निहित ऑक्साइड परत के बलिदान द्वारा जारी की गई थी। अंतर-डिजिटल कंघी इलेक्ट्रोड का उपयोग इन-प्लेन बलों का उत्पादन करने और इन-प्लेन गति का संधारित्र रूप से पता लगाने के लिए किया गया था। इस MEMS प्रतिमान ने कम लागत वाले त्वरकों के निर्माण को सक्षम बनाया है। ऑटोमोटिव एयर-बैग प्रणाली और अन्य अनुप्रयोग जहां कम प्रदर्शन और/या उच्च जी-रेंज पर्याप्त हैं। एनालॉग उपकरणों ने सतह माइक्रोमाशीनिंग के औद्योगिकीकरण का बीड़ा उठाया है और MEMS और एकीकृत सर्किट के सह-एकीकरण को महसूस किया है।

वेफर बॉन्डिंग

वेफर बॉन्डिंग में एक समग्र संरचना बनाने के लिए दो या दो से अधिक सबस्ट्रेट्स (आमतौर पर एक ही व्यास वाले) को एक दूसरे से जोड़ना शामिल है। कई प्रकार की वेफर बॉन्डिंग प्रक्रियाएं हैं जिनका उपयोग माइक्रोसिस्टम्स फैब्रिकेशन में किया जाता है जिनमें शामिल हैं: डायरेक्ट या फ्यूजन वेफर बॉन्डिंग, जिसमें दो या दो से अधिक वेफर्स एक साथ बंधे होते हैं जो आमतौर पर सिलिकॉन या कुछ अन्य सेमीकंडक्टर सामग्री से बने होते हैं; एनोडिक बॉन्डिंग जिसमें बोरॉन-डॉप्ड ग्लास वेफर सेमीकंडक्टर वेफर, आमतौर पर सिलिकॉन से बंधा होता है; थर्मोकम्प्रेशन बॉन्डिंग, जिसमें वेफर बॉन्डिंग की सुविधा के लिए एक मध्यस्थ पतली-फिल्म सामग्री परत का उपयोग किया जाता है; और यूटेक्टिक बॉन्डिंग, जिसमें दो सिलिकॉन वेफर्स को बांधने के लिए सोने की एक पतली-फिल्म परत का उपयोग किया जाता है। परिस्थितियों के आधार पर इन विधियों में से प्रत्येक के विशिष्ट उपयोग हैं। अधिकांश वेफर बॉन्डिंग प्रक्रियाएं सफलतापूर्वक बॉन्डिंग के लिए तीन बुनियादी मानदंडों पर निर्भर करती हैं: बंधुआ होने वाले वेफर्स पर्याप्त रूप से सपाट होते हैं; वेफर सतह पर्याप्त रूप से चिकनी हैं; और वेफर सतह पर्याप्त रूप से साफ हैं। वेफर बॉन्डिंग के लिए सबसे कड़े मानदंड आमतौर पर डायरेक्ट फ्यूजन वेफर बॉन्डिंग होते हैं क्योंकि एक या एक से अधिक छोटे कण भी बॉन्डिंग को असफल बना सकते हैं। इसकी तुलना में, मध्यस्थ परतों का उपयोग करने वाली वेफर बॉन्डिंग विधियां अक्सर अधिक क्षमाशील होती हैं।

उच्च पहलू अनुपात (HAR) सिलिकॉन माइक्रोमाशीनिंग

बड़े पैमाने पर और सतह सिलिकॉन माइक्रोमाशीनिंग का उपयोग सेंसर, इंक-जेट नोज़ल और अन्य उपकरणों के औद्योगिक उत्पादन में किया जाता है। लेकिन कई मामलों में इन दोनों के बीच अंतर कम हो गया है। एक नई उच्च तकनीक, गहरी प्रतिक्रियाशील-आयन हाइचिंग, ने सतह माइक्रोमाचाइनिंग की विशिष्ट संरचना और इन-प्लेन संचालन के साथ थोक माइक्रोमाचाइनिंग के अच्छे प्रदर्शन को जोड़ना संभव बनाया है। जबकि सतह माइक्रोमाशीनिंग में 2 μm की सीमा में संरचनात्मक परत मोटाई होना आम है, HAR सिलिकॉन माइक्रोमाचाइन में मोटाई 10 से 100 μm तक हो सकती है। HAR सिलिकॉन माइक्रोमैचिनिंग में आमतौर पर उपयोग की जाने वाली सामग्री मोटे पॉलीक्रिस्टलाइन सिलिकॉन हैं, जिन्हें epi-poly के रूप में जाना जाता है, और बंधित सिलिकॉन-ऑन-इन्सुलेटर (SOI) वेफर्स के रूप में जाना जाता है, हालांकि थोक सिलिकॉन वेफर के लिए (SCREAM) प्रक्रियाएं भी बनाई गई हैं। MEMS संरचनाओं की सुरक्षा के लिए ग्लास फ्रिट बॉन्डिंग, एनोडिक बॉन्डिंग या एलॉय बॉन्डिंग द्वारा दूसरे वेफर को बॉन्डिंग किया जाता है। एकीकृत परिपथों को आमतौर पर HAR सिलिकॉन माइक्रोमैचिनिंग के साथ संयोजित नहीं किया जाता है।

थर्मल ऑक्सीकरण

माइक्रो और नैनो-स्केल घटकों के आकार को नियंत्रित करने के लिए, तथाकथित एटीसीलेस प्रक्रियाओं का उपयोग अक्सर किया जाता है। MEMS के निर्माण के लिए यह दृष्टिकोण ज्यादातर सिलिकॉन के ऑक्सीकरण पर निर्भर करता है, जैसा कि डील-ग्रोव मॉडल द्वारा वर्णित है। थर्मल ऑक्सीकरण प्रक्रियाओं का उपयोग अत्यधिक सटीक आयामी नियंत्रण के साथ विविध सिलिकॉन संरचनाओं का उत्पादन करने के लिए किया जाता है। ऑप्टिकल फ्रीक्वेंसी कॉमब्स,^[26] और सिलिकॉन MEMS दबाव सेंसर,^[27] सहित उपकरण थर्मल ऑक्सीकरण प्रक्रियाओं के उपयोग के माध्यम से एक या दो आयामों में सिलिकॉन संरचनाओं को ठीक करने के लिए उत्पादित किए गए हैं। थर्मल ऑक्सीकरण सिलिकॉन नैनोवायर के निर्माण में विशेष मूल्य का है, जो व्यापक रूप से मेम्स सिस्टम में यांत्रिक और विद्युत दोनों घटकों के रूप में कार्यरत हैं।

माइक्रोइलेक्ट्रोमेकेनिकल सिस्टम चिप, जिसे कभी-कभी लैब-ऑन-ए-चिप कहा जाता है

अनुप्रयोग

सिनेमा प्रक्षेपण के लिए एक टेक्सास इंस्ट्रूमेंट्स DMD चिप

एक ट्रांसमिशन इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप के अंदर एमईएमएस का उपयोग करके एक सोने की पट्टी (चौड़ाई ~ 1 माइक्रोन) के यांत्रिक गुणों को मापना।^[28]

MEMS के कुछ सामान्य वाणिज्यिक अनुप्रयोगों में शामिल हैं:

इंकजेट प्रिंटर, जो कागज पर स्याही जमा करने के लिए दाब विद्युतिकी या ऊष्मीय बबल इजेक्शन का उपयोग करते हैं।
आधुनिक कारों में एयरबैग परिनियोजन और इलेक्ट्रॉनिक स्थिरता नियंत्रण सहित कई उद्देश्यों के लिए एक्सेलेरोमीटर हैं।
जड़त्वीय माप इकाइयाँ (IMUS):
- MEMS एक्सेलेरोमीटर
- रिमोट नियंत्रित, या स्वायत्त, हेलीकॉप्टरों, विमानों और मल्‍टी-रोटर (जिसे ड्रोन के रूप में भी जाना जाता है) में MEMS जियोंरोस्कोप का उपयोग रोल, पिच और यव की उड़ान विशेषताओं को स्वचालित रूप से समझने और संतुलित करने के लिए किया जाता है।
- दिशात्मक शीर्षक प्रदान करने के लिए ऐसे उपकरणों में MEMS चुंबकीय क्षेत्र सेंसर (मैग्नेटोमीटर) को भी शामिल किया जा सकता है। मैग्नेटिक
- आधुनिक कारों, हवाई जहाजों, पनडुब्बियों और अन्य वाहनों की MEMS जड़त्वीय नेविगेशन प्रणाली (INSs) का पता लगाने के लिए, याव, पिच और रोल का पता लगाने के लिए; उदाहरण के लिए, एक हवाई जहाज का ऑटोपायलट।^[29]
उपभोक्ता इलेक्ट्रॉनिक्स उपकरणों में त्वरक जैसे कि गेम कंट्रोलर, व्यक्तिगत मीडिया प्लेयर/सेल फोन (लगभग सभी स्मार्टफोन, विभिन्न HTC PDA मॉडल)^[30] और कई डिजिटल कैमरा (विभिन्न कैनोन डिजिटल IXUS मॉडल)। क्षति और डेटा नुकसान को रोकने के लिए हार्ड डिस्क हेड को पार्क करने के लिए PCs में भी उपयोग किया जाता है।
MEMS बैरोमीटर
पोर्टेबल उपकरणों जैसे मोबाइल फोन, हेड सेट और लैपटॉप में MEMS माइक्रोफोन। स्मार्ट माइक्रोफोन के बाजार में स्मार्टफोन, पहनने योग्य उपकरण, स्मार्ट होम और ऑटोमोटिव एप्लिकेशन शामिल हैं।^[31]
रियल टाइम घड़ियों में सटीक तापमान-संवर्धित प्रतिध्वनि।^[32]
सिलिकॉन प्रेशर सेंसर जैसे, कार टायर प्रेशर सेंसर और डिस्पोजेबल ब्लड प्रेशर सेंसर।
DLP प्रौद्योगिकी के आधार पर एक प्रोजेक्टर में डिजिटल माइक्रोमिरोरर उपकरण (DMD) चिप प्रदर्शित करता है, जिसकी सतह कई लाख माइक्रोमैरोजी या एकल माइक्रो-स्कैनिंग-दर्पण के साथ होती है जिसे माइक्रोस्कैनर्स भी कहा जाता है।
ऑप्टिकल स्विचिंग तकनीक, जिसका उपयोग स्विचिंग तकनीक और डेटा संचार के लिए संरेखण के लिए किया जाता है।
प्रयोगशाला-ऑन-ए-चिप, बायोसेंसर्स, केमोसेंसर के साथ-साथ चिकित्सा उपकरणों के एम्बेड घटकों जैसे चिकित्सा और स्वास्थ्य संबंधी प्रौद्योगिकियों में जैव-एमईएम अनुप्रयोग जैसे स्टंट्स।^[33]
उपभोक्ता इलेक्ट्रॉनिक्स (मुख्य रूप से मोबाइल उपकरणों के लिए प्रदर्शित) में इंटरफेरोमेट्रिक मॉड्यूलेटर डिस्प्ले (IMOD) अनुप्रयोग, इंटरफेरोमेट्रिक मॉड्यूलेशन बनाने के लिए उपयोग किया जाता है - प्रतिबिंबित डिस्प्ले टेक्नोलॉजी जैसा कि मिरासोल डिस्प्ले में पाया जाता है।
द्रव त्वरण, जैसे माइक्रो-कूलिंग के लिए।
सूक्ष्म पैमाने पर ऊर्जा कटाई जिसमें पीजोइलेक्ट्रिक,^[34] इलेक्ट्रोस्टैटिक और विद्युत चुम्बकीय माइक्रो कटाई मशीन शामिल हैं।
सूक्ष्म मशीनीकृत अल्ट्रासाउंड ट्रांसड्यूसर।^[35]^[36]
MEMS आधारित लाउडस्पीकर इन-अर हेडफोन और हियरिंग एड जैसे अनुप्रयोगों पर ध्यान केंद्रित करते हैं।
MEMS दोलक
MEMS आधारित रेखाचित्रण जांच माइक्रोस्कोप जिसमें परमाणु बल माइक्रोस्कोप भी शामिल हैं।

उद्योग संरचना

माइक्रो-इलेक्ट्रॉनिक्स प्रणाली के लिए वैश्विक बाजार, जिसमें ऑटोमोबाइल एयरबैग सिस्टम, डिस्प्ले सिस्टम और इंकजेट कारतूस जैसे उत्पाद शामिल हैं, वैश्विक MEMS/माइक्रोसिस्टम्स मार्केट्स एंड अपॉर्चुनिटीज के अनुसार 2006 में कुल $ 40 बिलियन का था, SEMI और योल डेवलपमेंट की एक शोध रिपोर्ट और इसका पूर्वानुमान लगाया गया है। 2011 तक 72 अरब डॉलर तक पहुंच गया। ^[37]

मजबूत MEMS कार्यक्रमों के साथ कंपनियां कई आकार में आती हैं। बड़ी कंपनियां ऑटोमोबाइल, जैव चिकित्सा और इलेक्ट्रॉनिक्स जैसे अंतिम बाजारों के लिए उच्च मात्रा के सस्ते घटकों या पैकेज्ड समाधानों के निर्माण में विशेषज्ञता रखती हैं। छोटी कंपनियां अभिनव समाधान में मूल्य प्रदान करती हैं और उच्च बिक्री मार्जिन के साथ कस्टम फैब्रिकेशन के खर्च को अवशोषित करती हैं। बड़ी और छोटी दोनों कंपनियां विशेष रूप से नए MEMS प्रौद्योगिकी का पता लगाने के लिए R&D में निवेश करती हैं।

MEMS उपकरणों के निर्माण के लिए उपयोग की जाने वाली सामग्रियों और उपकरणों का बाजार 2006 में दुनिया भर में $ 1 बिलियन से ऊपर था। सामग्री की मांग आधार द्वारा संचालित होती है, जो बाजार का 70 प्रतिशत से अधिक हिस्सा बनाती है, पैकेजिंग कोटिंग्स और रासायनिक यांत्रिक योजना (CMP) का बढ़ता उपयोग। जबकि एमईएमएस निर्माण में प्रयुक्त अर्धचालक उपकरण का वर्चस्व बना हुआ है, 200 mm लाइनों के लिए एक प्रवासन है और कुछ MEMS अनुप्रयोगों के लिए निक्षारक और बॉन्डिंग सहित नए उपकरण का चयन करें।

यह भी देखें

कैंटिलीवर - मेम के सबसे सामान्य रूपों में से एक
इलेक्ट्रोस्टैटिक मोटर्स का उपयोग किया जाता है जहां कॉइल को गढ़ना मुश्किल होता है
विद्युत -यांत्रिक मॉडलिंग
केल्विन जांच बल माइक्रोस्कोप
मेम्स सेंसर पीढ़ी
MEMS थर्मल एक्ट्यूएटर, थर्मल विस्तार द्वारा निर्मित MEMS एक्टिवेशन
माइक्रोप्टोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम (MOEMS), ऑप्टिकल तत्वों सहित MEMS
माइक्रोप्टोमेकेनिकल सिस्टम (एमओएम), एमईएमएस का एक वर्ग जो ऑप्टिकल और मैकेनिकल का उपयोग करता है, लेकिन इलेक्ट्रॉनिक घटक नहीं है
तंत्रिका धूल - मिलीमीटर आकार के उपकरण वायरलेस रूप से संचालित तंत्रिका सेंसर के रूप में संचालित होते हैं
Photoelectrowetting, MEMS ऑप्टिकल एक्टिवेशन फोटो-सेंसिटिव वेटिंग का उपयोग करके
माइक्रोपॉवर, हाइड्रोजन जनरेटर, गैस टर्बाइन, और इलेक्ट्रिकल जनरेटर जो etched सिलिकॉन से बने होते हैं
मिलिपेड मेमोरी, प्रति वर्ग इंच से अधिक के गैर-वाष्पशील डेटा भंडारण के लिए एक एमईएमएस तकनीक
नैनोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम मेम के समान हैं लेकिन छोटे
स्क्रैच ड्राइव एक्ट्यूएटर, एमईएमएस एक्टिवेशन बार -बार लागू वोल्टेज अंतर का उपयोग करके

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↑ Hajati A (2013). "Monolithic ultrasonic integrated circuits based on micromachined semi-ellipsoidal piezoelectric domes". Appl. Phys. Lett. 103 (20): 202906. Bibcode:2013ApPhL.103t2906H. doi:10.1063/1.4831988.
↑ "Worldwide MEMS Systems Market Forecasted to Reach $72 Billion by 2011". AZoNano. 2007. Retrieved 5 Oct 2015.

अग्रिम पठन

Journal of Micro and Nanotechnique
Microsystem Technologies, published by Springer Publishing, Journal homepage
Geschke, O.; Klank, H.; Telleman, P., eds. (2004). Microsystem Engineering of Lab-on-a-chip Devices. Wiley. ISBN 3-527-30733-8.

बाहरी संबंध

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 {{Short description|Very small devices that incorporate moving components}}
-{{Redirect|MEMS}}
 [[File:MEMsfounding.jpg|thumb|1986 में DARPA को प्रस्तुत प्रस्ताव पहले माइक्रोइलेक्ट्रोमैकेनिकल शब्द का परिचय दिया]]
 [[File:MEMS Microcantilever in Resonance.png|thumb|MEMS माइक्रोकंटिलेवर एक स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप के अंदर प्रतिध्वनित होता है]]
-माइक्रोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम, जिसे माइक्रो-इलेक्ट्रो-मैकेनिकल सिस्टम (या माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक और माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक सिस्टम) के रूप में भी लिखा जाता है और संबंधित माइक्रोमैक्ट्रोनिक्स और माइक्रोसिस्टम्स सूक्ष्म उपकरणों की तकनीक का गठन करते हैं, विशेष रूप से उन क्षेत्रो के लिए जो गतिशील हैं। वे नैनोस्केल पर नैनोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम और नैनो टेक्नोलॉजी में विलय होते हैं। MEMS को जापान में माइक्रोमाशीन और यूरोप में माइक्रोसिस्टम टेक्नोलॉजी के रूप में भी जाना जाता है।
+'''माइक्रोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम''', (या सूक्ष्म-इलेक्ट्रॉनिकी और सूक्ष्म-इलेक्ट्रॉनिकी सिस्टम) के रूप में भी लिखा जाता है और संबंधित माइक्रोमैक्ट्रोनिक्स और माइक्रोसिस्टम्स सूक्ष्म उपकरणों की तकनीक का गठन करते हैं, विशेष रूप से उन क्षेत्रो के लिए जो गतिशील हैं। वे नैनोस्केल पर नैनोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम और नैनो टेक्नोलॉजी में विलय होते हैं। MEMS को जापान में माइक्रोमाशीन और यूरोप में माइक्रोसिस्टम टेक्नोलॉजी के रूप में भी जाना जाता है।
 MEMS आकार में 1 और 100 माइक्रोमीटर (यानी 0.001 से 0.1 मिमी) के बीच घटकों से बने होते हैं, और MEMS उपकरण आम तौर पर 20 माइक्रोमीटर से एक मिलीमीटर (यानी 0.02 से 1.0 मिमी) तक आकार में होते हैं, हालांकि घटक सारणी (जैसे, डिजिटल माइक्रोमिरर उपकरण) में व्यवस्थित घटक 1000 मिमी 2 से अधिक हो सकते हैं।.<ref>{{Cite book|url=https://books.google.com/books?id=7lKytgAACAAJ|title=Small Machines, Large Opportunities: A Report on the Emerging Field of Microdynamics: Report of the Workshop on Microelectromechanical Systems Research|vauthors=Gabriel K, Jarvis J, Trimmer W|publisher=AT&T Bell Laboratories|others=[[National Science Foundation]] (sponsor)|year=1988}}</ref>  वे आम तौर पर एक केंद्रीय इकाई से मिलकर डेटा (एक एकीकृत सर्किट चिप जैसे माइक्रोप्रोसेसर) और कई घटकों को संसाधित करते हैं जो आसपास (जैसे माइक्रोसेन्सर्स) के साथ  एक दूसरे को प्रभावित करते हैं।<ref>{{cite book|title=Nanocomputers and Swarm Intelligence|vauthors=Waldner JB|publisher=[[ISTE Ltd|ISTE]] [[John Wiley & Sons]]|year=2008|isbn=9781848210097|place=London|pages=205|author-link=Jean-Baptiste Waldner}}</ref>  MEMS के बड़े सतह क्षेत्र से आयतन अनुपात के कारण, परिवेश विद्युत चुंबकत्व (जैसे, इलेक्ट्रोस्टैटिक चार्ज और चुंबकीय क्षण), और द्रव गतिकी (जैसे, सतह तनाव और चिपचिपाहट) द्वारा उत्पन्न बल बड़े पैमाने पर यांत्रिक उपकरणों की तुलना में अधिक महत्वपूर्ण डिजाइन के कारण हैं। MEMS प्रौद्योगिकी आणविक नैनो प्रौद्योगिकी या आणविक इलेक्ट्रॉनिक्स से अलग है जिसमें बाद के दो को सतह रसायन शास्त्र पर भी विचार करना चाहिए।
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 MEMS उपकरण का एक प्रारंभिक उदाहरण अनुनाद-गेट ट्रांजिस्टर है, जो सन् 1965 में हार्वे सी. नाथसन द्वारा विकसित MOSFET का रूपांतरण है।<ref>{{cite journal|vauthors=Nathanson HC, Wickstrom RA|date=1965|title=A Resonant-Gate Silicon Surface Transistor with High-Q Band-Pass Properties|journal=[[Applied Physics Letters|Appl. Phys. Lett.]]|volume=7|issue=4|pages=84–86|doi=10.1063/1.1754323|bibcode=1965ApPhL...7...84N}}</ref> एक और प्रारंभिक उदाहरण है प्रतिध्वनि, एक इलेक्ट्रोमैकेनिकल मोनोलिथिक प्रतिध्वनिकार, जो 1966 और 1971 के बीच रेमंड जे विल्फिंगर द्वारा पेटेंट कराया गया था।<ref>{{Cite patent|country=US|number=3614677A|title=Electromechanical monolithic resonator|status=patent|pubdate=|gdate=Oct 1971|invent1=Wilfinger RJ|inventor1-first=|assign1=International Business Machines Corp|url=https://patents.google.com/patent/US3614677A/en}}</ref><ref>{{cite journal|vauthors=Wilfinger RJ, Bardell PH, Chhabra DS|date=1968|title=The Resonistor: A Frequency Selective Device Utilizing the Mechanical Resonance of a Silicon Substrate|journal=[[IBM Journal of Research and Development|IBM J. Res. Dev.]]|volume=12|issue=1|pages=113–8|doi=10.1147/rd.121.0113}}</ref> 1970 से 1980 के दशक के दौरान, भौतिक, रासायनिक, जैविक और पर्यावरणीय मापदंडों को मापने के लिए कई MOSFET माइक्रोसेंसर विकसित किए गए थे। <ref name="Bergveld">{{cite journal |last1=Bergveld |first1=Piet |author1-link=Piet Bergveld |title=The impact of MOSFET-based sensors |journal=Sensors and Actuators |date=October 1985 |volume=8 |issue=2 |pages=109–127 |doi=10.1016/0250-6874(85)87009-8 |bibcode=1985SeAc....8..109B |url=https://core.ac.uk/download/pdf/11473091.pdf |issn=0250-6874}}</ref> MEMS शब्द 1986 में पेश किया गया था।<ref>S.C. Jacobsen (PI) and J.E. Wood (Co-PI) introduced the term “MEMS” by way of a proposal to DARPA (15 July 1986), titled "Micro Electro-Mechanical Systems (MEMS)", granted to the University of Utah.  The term “MEMS” was presented by way of an invited talk by S.C. Jacobsen, titled “Micro Electro-Mechanical Systems (MEMS)”, at the IEEE Micro Robots and Teleoperators Workshop (Workshop co-Chairs were Wm. Trimmer and K. Gabriel), Session III (Session Chair was J. Wood), Micro Electro-Mechanical Systems: Design, Performance and Fabrication, Hyannis, MA Nov. 9-11, 1987.  The term “MEMS” was published by way of a submitted paper by J.E. Wood, S.C. Jacobsen, and K.W. Grace, titled “SCOFSS: A Small Cantilevered Optical Fiber Servo System”, in the IEEE Proceedings Micro Robots and Teleoperators Workshop (Workshop co-Chairs were Wm. Trimmer and K. Gabriel), Session IV (Session Chair was J. Wood), Micro Electro-Mechanical Systems: Design, Performance and Fabrication, Hyannis, MA Nov. 9-11, 1987.  IEEE Catalog no. 87TH0204-8, Library of Congress no. 87-82657.  Reprinted in "Micromechanics and MEMS: Classic and Seminal Papers to 1990" (ed. Wm. S. Trimmer, <nowiki>ISBN 0-7803-1085-3</nowiki>), pgs. 231-236.  </ref>
 == प्रकार ==
 MEMS स्विच प्रौद्योगिकी के दो मूल प्रकार हैं: संधारित्र और ओमिक। एक संधारित्र MEMS स्विच एक गतिशील प्लेट या सेंसिंग तत्व का उपयोग करके विकसित किया जाता है, जो संधार्यता को बदल देता है।<ref>{{cite journal|title=Evaluation of MEMS capacitive accelerometers |date=1999-12-01 |doi=10.1109/54.808209 |last1=Beliveau |first1=A. |last2=Spencer |first2=G.T. |last3=Thomas |first3=K.A. |last4=Roberson |first4=S.L. |journal=IEEE Design & Test of Computers |volume=16 |issue=4 |pages=48–56 }}</ref> ओमिक स्विचों को इलेक्ट्रोस्टैटिक रूप से नियंत्रित कैंटीलीवरों द्वारा नियंत्रित किया जाता है।<ref>{{cite web|url=https://iopscience.iop.org/book/978-0-7503-1545-6/chapter/bk978-0-7503-1545-6ch1 |title=Introduction to MEMS and RF-MEMS: From the early days of microsystems to modern RF-MEMS passives |website=iop.org |date=2017-11-01 |access-date=2019-08-06}}</ref> ओमिक MEMS स्विच MEMS प्रवर्तक (कैंटीलीवर) की धातु के संपर्क से विफल हो सकते हैं, क्योंकि कैंटिलीवर समय के साथ ख़राब हो सकते हैं।<ref>{{cite web|url=https://www.evaluationengineering.com/instrumentation/switching-systems/article/21082562/mems-technology-is-transforming-highdensity-switch-matrices |title=MEMS technology is transforming high-density switch matrices |website=evaluationengineering.com |date=2019-06-24 |access-date=2019-08-06}}</ref>
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 MEMS का निर्माण सेमीकंडक्टर उपकरण फैब्रिकेशन में प्रौद्योगिकी प्रक्रिया से हुआ है। प्राचीन तकनीक सामग्री परतों का निक्षेपण है, फोटोलिथोग्राफी और नक़्क़ाशी द्वारा आवश्यक आकृति का निर्माण कर सकते है।<ref>{{cite book|title=MEMS Materials and Processes Handbook|vauthors=Ghodssi R, Lin P|publisher=[[Springer Science+Business Media|Springer]]|year=2011|isbn=9780387473161|place=Berlin}}</ref>
 === सिलिकॉन ===
-सिलिकॉन आधुनिक उद्योग में उपभोक्ता इलेक्ट्रॉनिक्स में प्रयुक्त सर्वाधिक एकीकृत परिपथों के निर्माण के लिए प्रयुक्त सामग्री है। पैमाने की अर्थव्यवस्थाएं, सस्ती उच्च गुणवत्ता वाली सामग्री की तैयार उपलब्धता और इलेक्ट्रॉनिक कार्यक्षमता को शामिल करने की क्षमता, सिलिकॉन को विभिन्न प्रकार के MEMS अनुप्रयोगों के लिए आकर्षक बनाती हैं। सिलिकॉन के भौतिक गुणों के माध्यम से भी महत्वपूर्ण लाभ हैं। एकल क्रिस्टल रूप में, सिलिकॉन लगभग पूर्ण हूकेन सामग्री है, जिसका अर्थ है कि जब यह लचीला होता है तो वास्तव में कोई शैथिल्य नहीं होता है और इसलिए लगभग कोई ऊर्जा अपव्यय नहीं होता है। अत्यधिक दोहराने योग्य गति के साथ-साथ, यह सिलिकॉन को बहुत विश्वसनीय भी बनाता है क्योंकि यह बहुत कम थकान महसूस करता है और बिना टूटे अरबों से खरबों चक्रों की सीमा का जीवनकाल हो सकता है। सिलिकॉन पर आधारित अर्धचालक नैनोस्ट्रक्चर विशेष रूप से माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स और mems के क्षेत्र में अधिक महत्व प्राप्त कर रहे हैं। सिलिकॉन के थर्मल ऑक्सीडेशन के माध्यम से निर्मित सिलिकॉन नैनोवायर इलेक्ट्रोकेमिकल रूपांतरण और भंडारण में आगे रुचि रखते हैं, जिसमें नैनोवायर बैटरी और फोटोवोल्टिक सिस्टम शामिल हैं।
+सिलिकॉन आधुनिक उद्योग में उपभोक्ता इलेक्ट्रॉनिक्स में प्रयुक्त सर्वाधिक एकीकृत परिपथों के निर्माण के लिए प्रयुक्त सामग्री है। पैमाने की अर्थव्यवस्थाएं, सस्ती उच्च गुणवत्ता वाली सामग्री की तैयार उपलब्धता और इलेक्ट्रॉनिक कार्यक्षमता को शामिल करने की क्षमता, सिलिकॉन को विभिन्न प्रकार के MEMS अनुप्रयोगों के लिए आकर्षक बनाती हैं। सिलिकॉन के भौतिक गुणों के माध्यम से भी महत्वपूर्ण लाभ हैं। एकल क्रिस्टल रूप में, सिलिकॉन लगभग पूर्ण हूकेन सामग्री है, जिसका अर्थ है कि जब यह लचीला होता है तो वास्तव में कोई शैथिल्य नहीं होता है और इसलिए लगभग कोई ऊर्जा अपव्यय नहीं होता है। अत्यधिक दोहराने योग्य गति के साथ-साथ, यह सिलिकॉन को बहुत विश्वसनीय भी बनाता है क्योंकि यह बहुत कम थकान महसूस करता है और बिना टूटे अरबों से खरबों चक्रों की सीमा का जीवनकाल हो सकता है। सिलिकॉन पर आधारित अर्धचालक नैनोस्ट्रक्चर विशेष रूप से  सूक्ष्म इलेक्ट्रॉनिकी और mems के क्षेत्र में अधिक महत्व प्राप्त कर रहे हैं। सिलिकॉन के थर्मल ऑक्सीडेशन के माध्यम से निर्मित सिलिकॉन नैनोवायर इलेक्ट्रोकेमिकल रूपांतरण और भंडारण में आगे रुचि रखते हैं, जिसमें नैनोवायर बैटरी और फोटोवोल्टिक सिस्टम शामिल हैं।
 === पॉलिमर ===
-हालांकि इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग सिलिकॉन उद्योग के लिए पैमाने की अर्थव्यवस्था प्रदान करता है, क्रिस्टलीय सिलिकॉन अभी भी उत्पादन के लिए एक जटिल और अपेक्षाकृत महंगी सामग्री है। दूसरी ओर पॉलिमर का उत्पादन बड़ी मात्रा में किया जा सकता है, जिसमें कई प्रकार की भौतिक विशेषताएं होती हैं। MEMS उपकरण, इंजेक्शन मोल्डिंग, एम्बोजिंग या स्टीरियोलिथोग्राफी जैसी प्रक्रियाओं द्वारा पॉलिमर से बनाए जा सकते हैं और विशेष रूप से माइक्रोफ्लुइडिक अनुप्रयोगों जैसे डिस्पोजेबल रक्त परीक्षण कार्ट्रिज के लिए उपयुक्त हैं।
+हालांकि इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग सिलिकॉन उद्योग के लिए पैमाने की अर्थव्यवस्था प्रदान करता है, क्रिस्टलीय सिलिकॉन अभी भी उत्पादन के लिए एक जटिल और अपेक्षाकृत महंगी सामग्री है। दूसरी ओर पॉलिमर का उत्पादन बड़ी मात्रा में किया जा सकता है, जिसमें कई प्रकार की भौतिक विशेषताएं होती हैं। MEMS उपकरण, इंजेक्शन मोल्डिंग, उभार या स्टीरियोलिथोग्राफी जैसी प्रक्रियाओं द्वारा पॉलिमर से बनाए जा सकते हैं और विशेष रूप से माइक्रोफ्लुइडिक अनुप्रयोगों जैसे डिस्पोजेबल रक्त परीक्षण कार्ट्रिज के लिए उपयुक्त हैं।
 === धातु ===
-धातुओं का उपयोग MEMS तत्वों को बनाने के लिए भी किया जा सकता है। जबकि धातुओं में यांत्रिक गुणों के संदर्भ में सिलिकॉन द्वारा प्रदर्शित कुछ फायदे नहीं होते हैं, जब उनकी सीमाओं के भीतर उपयोग किया जाता है, तो धातुएं बहुत उच्च स्तर की विश्वसनीयता प्रदर्शित कर सकती हैं। धातुओं को इलेक्ट्रोप्लेटिंग, वाष्पीकरण और स्पटरिंग प्रक्रियाओं द्वारा जमा किया जा सकता है। आमतौर पर इस्तेमाल की जाने वाली धातुओं में सोना, निकल, एल्यूमीनियम, तांबा, क्रोमियम, टाइटेनियम, टंगस्टन, प्लैटिनम और चांदी शामिल हैं।
+धातुओं का उपयोग MEMS तत्वों को बनाने के लिए भी किया जा सकता है। जबकि धातुओं में यांत्रिक गुणों के संदर्भ में सिलिकॉन द्वारा प्रदर्शित कुछ फायदे नहीं होते हैं, जब उनकी सीमाओं के भीतर उपयोग किया जाता है, तो धातुएं बहुत उच्च स्तर की विश्वसनीयता प्रदर्शित कर सकती हैं। धातुओं को विद्युत आवरण, वाष्पीकरण और कणक्षेपण प्रक्रियाओं द्वारा जमा किया जा सकता है। आमतौर पर इस्तेमाल की जाने वाली धातुओं में सोना, निकल, एल्यूमीनियम, तांबा, क्रोमियम, टाइटेनियम, टंगस्टन, प्लैटिनम और चांदी शामिल हैं।
 === सिरेमिक ===
 [[File:BioMEMS with X-shpaed cantilever.png|thumb|ग्राउंड प्लेट के ऊपर एक्स-आकार के टिन बीम के इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप चित्र (ऊंचाई अंतर 2.5 माइक्रोन)।बीच में क्लिप के कारण, एक बढ़ती रीसेट बल विकसित होता है जब बीम नीचे की ओर झुकता है।सही आंकड़ा क्लिप का एक आवर्धन दिखाता है।<ref name=JAP2013>{{cite journal | display-authors = 3 | author1 = M. Birkholz | author2 =  K.-E. Ehwald | author3 =  T. Basmer | author4 =  P. Kulse | author5=  C. Reich | author6 =  J. Drews | author7 =  D. Genschow | author8 =  U. Haak | author9 =  S. Marschmeyer | author10 =  E. Matthus | author11 =  K. Schulz | author12 =  D. Wolansky | author13 =  W. Winkler | author14 =  T. Guschauski | author15 =  R. Ehwald | title = Sensing glucose concentrations at GHz frequencies with a fully embedded Biomicro-electromechanical system (BioMEMS) | journal = J. Appl. Phys. | volume = 113 | issue = 24 | pages = 244904–244904–8 | year = 2013 | doi = 10.1063/1.4811351| pmid = 25332510 | pmc = 3977869 | bibcode = 2013JAP...113x4904B }}</ref>]]
 सिलिकॉन, एल्यूमीनियम और टाइटेनियम के नाइट्राइड के साथ-साथ सिलिकॉन कार्बाइड और अन्य सिरेमिक भी सामग्री गुणों के लाभदायक संयोजनों के कारण MEMS के निर्माण में तेजी से लागू होते हैं।  AlN वर्ट्ज़ाइट संरचना में क्रिस्टलीकरण करता है और इस प्रकार पाइरोइलेक्ट्रिक और पीजोइलेक्ट्रिक गुणों को दिखाता है, उदाहरण के लिए, सामान्य और शियर बलों के प्रति संवेदनशीलता के साथ सेंसर को सक्षम करता है।<ref name="PC2009">{{cite journal|vauthors=Polster T, Hoffmann M|date=2009|title=Aluminium nitride based 3D, piezoelectric, tactile sensors|journal=Procedia Chemistry|volume=1|issue=1|pages=144–7|doi=10.1016/j.proche.2009.07.036|doi-access=free}}</ref> दूसरी ओर,टिन, एक उच्च विद्युत चालकता और बड़े लोचदार मॉड्यूलस को प्रदर्शित करता है, जिससे अल्ट्राथिन बीम के साथ इलेक्ट्रोस्टैटिक मेमेस क्रियात्मक योजनाओं को लागू करना संभव हो जाता है। इसके अलावा, बायोकोरोसियन के खिलाफ टिन का उच्च प्रतिरोध जैविक वातावरण में अनुप्रयोगों के लिए सामग्री को योग्य बनाता है। यह आंकड़ा एक टिन प्लेट के ऊपर 50 nm पतली मोड़ योग्य टिन बीम के साथ मेम्स बायोसेंसर की एक इलेक्ट्रॉन-सूक्ष्म तस्वीर दिखाता है। दोनों को एक संधारित्र के विपरीत इलेक्ट्रोड के रूप में संचालित किया जा सकता है, क्योंकि बीम को विद्युत रूप से अलग करने वाली पार्श्व दीवारों में निर्धारित किया जाता है। जब किसी तरल पदार्थ को गुहा में निलंबित किया जाता है तो इसकी चिपचिपाहट बीम को जमीन की प्लेट पर विद्युत आकर्षण द्वारा झुकने और झुकने के वेग को मापने से प्राप्त की जा सकती है।<ref name=JAP2013/>
 == MEMS मूल प्रक्रियाएं ==
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 इस खुले क्षेत्र को तब हटाया जा सकता है या अंतर्निहित सब्सट्रेट के लिए एक मास्क प्रदान किया जा सकता है। फोटोलिथोग्राफी का उपयोग आम तौर पर धातु या अन्य पतली फिल्म डिपोजिट, गीले और सूखी नक़्क़ाशी के साथ किया जाता है। कभी-कभी, फोटोलिथोग्राफी का उपयोग किसी भी तरह के पोस्ट एचिंग के बिना संरचना बनाने के लिए किया जाता है। एक उदाहरण SU8 आधारित लेंस है जहाँ SU8 आधारित वर्ग ब्लॉक उत्पन्न होते हैं। फिर फोटोरेसिस्ट को एक अर्ध-गोला बनाने के लिए पिघलाया जाता है जो लेंस के रूप में कार्य करता है।
-==== इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी ====
+==== इलेक्ट्रॉन बीम शिला लिपि ====
 {{Main|Electron beam lithography}}
 इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी (अक्सर ई-बीम लिथोग्राफी के रूप में संक्षिप्त) एक फिल्म के साथ कवर की गई सतह पर एक पैटर्न वाले फैशन में इलेक्ट्रॉनों के एक बीम को स्कैन करने का अभ्यास है (जिसे प्रतिरोध कहा जाता है),<ref name="mccord">{{cite book|title=SPIE Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication|vauthors=McCord MA, Rooks MJ|publisher=[[SPIE]]|year=1997|isbn=9780819497864|veditors=Choudhury PR|volume=1|location=London|chapter=Electron Beam Lithography|doi=10.1117/3.2265070.ch2|chapter-url=http://www.cnf.cornell.edu/cnf_spietoc.html}}</ref>  ("प्रतिरोध को उजागर करना") और चुनिंदा रूप से या तो उजागर या गैर-विस्तारित क्षेत्रों को हटाने का अभ्यास है। इसका उद्देश्य, फोटोलिथोग्राफी के साथ, प्रतिरोध में बहुत छोटी संरचनाओं का निर्माण करना है जिसे बाद में सब्सट्रेट सामग्री में स्थानांतरित किया जा सकता है, अक्सर नक़्क़ाशी द्वारा। इसे एकीकृत सर्किटों के निर्माण के लिए विकसित किया गया था और इसका उपयोग नैनोटेक्नोलॉजी आर्किटेक्चर के निर्माण के लिए भी किया जाता है।
-इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी का प्राथमिक लाभ यह है कि यह प्रकाश की विवर्तन सीमा को पार करने और नैनोमीटर रेंज में विशेषताएं बनाने के तरीकों में से एक है। मास्कलेस लिथोग्राफी के इस रूप में फोटोलिथोग्राफी, अर्धचालक घटकों के कम मात्रा में उत्पादन, और अनुसंधान और विकास में उपयोग किए जाने वाले फोटोमास्क-निर्माण में व्यापक उपयोग पाया गया है।
+इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी का प्राथमिक लाभ यह है कि यह प्रकाश की विवर्तन सीमा को पार करने और नैनोमीटर रेंज में विशेषताएं बनाने के तरीकों में से एक है। मास्कलेस शिला लिपि के इस रूप में फोटोलिथोग्राफी, अर्धचालक घटकों के कम मात्रा में उत्पादन, और अनुसंधान और विकास में उपयोग किए जाने वाले फोटोमास्क-निर्माण में व्यापक उपयोग पाया गया है।
-इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी की मुख्य सीमा थ्रूपुट है, अर्थात पूरे सिलिकॉन वेफर या ग्लास सब्सट्रेट को उजागर करने में बहुत समय लगता है। एक लंबा एक्सपोजर समय उपयोगकर्ता को बीम ड्रिफ्ट या अस्थिरता के लिए असुरक्षित छोड़ देता है जो एक्सपोजर के दौरान हो सकता है। इसके अलावा, दोबारा काम करने या फिर से डिजाइन करने के लिए टर्न-अराउंड समय अनावश्यक रूप से जोड़ा जाता है यदि पैटर्न को दूसरी बार नहीं बदला जा रहा है।
+इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी की मुख्य सीमा थ्रूपुट है, अर्थात पूरे सिलिकॉन वेफर या ग्लास सब्सट्रेट को उजागर करने में बहुत समय लगता है। एक लंबा एक्सपोजर समय उपयोगकर्ता को बीम ड्रिफ्ट या अस्थिरता के लिए असुरक्षित छोड़ देता है जो एक्सपोजर के दौरान हो सकता है। इसके अलावा, दोबारा काम करने या फिर से डिजाइन करने के लिए प्रतिवर्तन समय अनावश्यक रूप से जोड़ा जाता है यदि पैटर्न को दूसरी बार नहीं बदला जा रहा है।
-==== आयन बीम लिथोग्राफी ====
+==== आयन बीम शिला लिपि ====
-यह ज्ञात है कि फोकस-आयन बीम लिथोग्राफी में बेहद महीन रेखाएं (कम से कम 50 nm लाइन और स्थान हासिल किया गया है) बिना निकटता प्रभाव के लिखने की क्षमता है।{{citation needed|date=April 2016}} हालांकि, क्योंकि आयन-बीम लिथोग्राफी में लेखन क्षेत्र काफी छोटा है, छोटे क्षेत्रों को एक साथ जोड़कर बड़े क्षेत्र के पैटर्न बनाए जाने चाहिए।
+यह ज्ञात है कि फोकस-आयन बीम लिथोग्राफी में बेहद महीन रेखाएं (कम से कम 50 nm लाइन और स्थान हासिल किया गया है) बिना निकटता प्रभाव के लिखने की क्षमता है।{{citation needed|date=April 2016}} हालांकि, क्योंकि आयन-बीम शिला लिपि में लेखन क्षेत्र काफी छोटा है, छोटे क्षेत्रों को एक साथ जोड़कर बड़े क्षेत्र के पैटर्न बनाए जाने चाहिए।
 ==== आयन ट्रैक तकनीक ====
 आयन ट्रैक तकनीक विकिरण प्रतिरोधी खनिजों, ग्लास और पॉलिमर पर लागू होने वाली लगभग 8 nm की रिज़ॉल्यूशन सीमा के साथ एक गहरा काटने वाला उपकरण है। यह बिना किसी विकास प्रक्रिया के पतली फिल्मों में छेद बनाने में सक्षम है। संरचनात्मक गहराई को या तो आयन सीमा या भौतिक मोटाई द्वारा परिभाषित किया जा सकता है। कई 104 तक के पहलू अनुपात तक पहुँचा जा सकता है। तकनीक एक परिभाषित झुकाव कोण पर आकार और बनावट सामग्री बना सकती है। यादृच्छिक पैटर्न, एकल-आयन ट्रैक संरचना और व्यक्तिगत एकल पटरियों से युक्त एक लक्ष्य पैटर्न उत्पन्न किया जा सकता है।
-==== एक्स-रे लिथोग्राफी ====
+==== एक्स-रे शिला लिपि ====
-एक्स-रे लिथोग्राफी एक प्रक्रिया है जिसका उपयोग इलेक्ट्रॉनिक उद्योग में एक पतली फिल्म के हिस्सों को चुनिंदा रूप से हटाने के लिए किया जाता है। इसमें एक्स-रे का उपयोग एक मास्क से एक प्रकाश-संवेदी रासायनिक फोटोप्रतिरोधी, या 'प्रतिरोधी' में एक ज्यामितीय पैटर्न को स्थानांतरित करने के लिए किया जाता है। फिर रासायनिक उपचार की एक श्रृंखला फोटोप्रतिरोधी के नीचे सामग्री में उत्पादित पैटर्न को उत्कीर्ण करती है।
+एक्स-रे शिला लिपि एक प्रक्रिया है जिसका उपयोग इलेक्ट्रॉनिक उद्योग में एक पतली फिल्म के हिस्सों को चुनिंदा रूप से हटाने के लिए किया जाता है। इसमें एक्स-रे का उपयोग एक मास्क से एक प्रकाश-संवेदी रासायनिक फोटोप्रतिरोधी, या 'प्रतिरोधी' में एक ज्यामितीय पैटर्न को स्थानांतरित करने के लिए किया जाता है। फिर रासायनिक उपचार की एक श्रृंखला फोटोप्रतिरोधी के नीचे सामग्री में उत्पादित पैटर्न को उत्कीर्ण करती है।
 ==== डायमंड पैटर्निंग ====
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 ===== इलेक्ट्रोकेमिकल नक़्क़ाशी =====
-सिलिकॉन के डोपेंट-सेलेक्टिव (dopant-selective) हटाने के लिए इलेक्ट्रोकेमिकल ईटीएफिंग (ECE) एक आम तरीका है जो स्वचालित और चुनिंदा रूप से नियंत्रित करने के लिए है। एक सक्रिय p-n डायोड जंक्शन की आवश्यकता होती है, और किसी भी प्रकार का डोपेंट सामग्री हो सकता है। बोरॉन सबसे आम एट-स्टॉप डोपेंट है। ऊपर वर्णित गीले एनिसोट्रोपिक एचिंग के संयोजन में, ECE का उपयोग वाणिज्यिक पीजोरेसिस्टिव सिलिकॉन प्रेशर सेंसर में सिलिकॉन डायफ्राम मोटाई को नियंत्रित करने के लिए सफलतापूर्वक किया गया है। सेलेक्टिव रूप से डोपेड क्षेत्रों को या तो सिलिकॉन के इम्प्लांटेशन, डिफ्यूजन या एपिटेक्सियल डिपोजिशन द्वारा बनाया जा सकता है।
+सिलिकॉन के डोपेंट-सेलेक्टिव (dopant-selective) हटाने के लिए इलेक्ट्रोकेमिकल ईटीएफिंग (ECE) एक आम तरीका है जो स्वचालित और चुनिंदा रूप से नियंत्रित करने के लिए है। एक सक्रिय p-n डायोड जंक्शन की आवश्यकता होती है, और किसी भी प्रकार का डोपेंट सामग्री हो सकता है। बोरॉन सबसे आम एट-स्टॉप डोपेंट है। ऊपर वर्णित गीले एनिसोट्रोपिक एचिंग के संयोजन में, ECE का उपयोग वाणिज्यिक पीजोरेसिस्टिव सिलिकॉन प्रेशर सेंसर में सिलिकॉन डायफ्राम मोटाई को नियंत्रित करने के लिए सफलतापूर्वक किया गया है। सेलेक्टिव रूप से डोपेड क्षेत्रों को या तो सिलिकॉन के आरोपण, विसरण या अधिस्तरी वृद्धि द्वारा बनाया जा सकता है।
 ==== सूखी नक़्क़ाशी ====
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 '''वाष्प नक़्क़ाशी'''
 ====== क्सीनन डिफ्लुओराइड (xenon difluoride) ======
-क्सीनन डिफ्लुओराइड ({{chem|XeF|2}}) सिलिकॉन (silicon) के लिए एक शुष्क वाष्प चरण है जो मूलतः कैलिफोर्निया विश्वविद्यालय, लॉस एंजिल्स में 1995 में एमईएम (mems) के लिए लागू किया गया था।<ref>{{cite book|title=Microelectronic Structures and Microelectromechanical Devices for Optical Processing and Multimedia Applications|vauthors=Chang FI, Yeh R, Lin G, Chu PB, Hoffman EG, Kruglick EJ, Pister KS, Hecht MH|publisher=[[SPIE]]|year=1995|volume=2641|location=Austin, TX|pages=117|chapter=Gas-phase silicon micromachining with xenon difluoride|doi=10.1117/12.220933|s2cid=39522253|display-authors=3|editor1-last=Bailey|editor1-first=Wayne|editor2-last=Motamedi|editor2-first=M. Edward|editor3-last=Luo|editor3-first=Fang-Chen}}</ref><ref>{{Cite thesis|type=M.S.|title=Xenon difluoride etching of silicon for MEMS|last=Chang|first=Floy I-Jung|publisher=University of California|location=Los Angeles|oclc=34531873|date=1995}}</ref> मुख्य रूप से सिलिकॉन को कम करके धातु और ढांकता हुआ संरचनाओं को जारी करने के लिए उपयोग किया जाता है, {{chem|XeF|2}}के विपरीत स्टिक-फ्री रिलीज का फायदा है। सिलिकॉन के लिए इसकी नक़्क़ाशी चयनात्मकता बहुत अधिक है, जो इसे फोटोरेसिस्ट, {{chem|SiO|2}} के साथ काम करने की अनुमति देती है,  सिलिकॉन नाइट्राइड, और मस्किंग के लिए विभिन्न धातुओं। सिलिकॉन (silicon) के प्रति इसकी प्रतिक्रिया प्लास्मलेस है, जो विशुद्ध रूप से रासायनिक और स्वतःस्फूर्त है और अक्सर स्पंदित मोड में संचालित होता है।<ref>{{cite book|title=17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems. Maastricht MEMS 2004 Technical Digest|vauthors=Brazzle JD, Dokmeci MR, Mastrangelo CH|publisher=[[Institute of Electrical and Electronics Engineers|IEEE]]|year=2004|isbn=9780780382657|pages=737–740|chapter=Modeling and characterization of sacrificial polysilicon etching using vapor-phase xenon difluoride|doi=10.1109/MEMS.2004.1290690|s2cid=40417914}}</ref> नक़्क़ाशी कार्रवाई के मॉडल उपलब्ध हैं,और विश्वविद्यालय प्रयोगशालाएं और विभिन्न वाणिज्यिक उपकरण इस दृष्टिकोण का उपयोग करके समाधान प्रदान करते हैं।
+क्सीनन डिफ्लुओराइड ({{chem|XeF|2}}) सिलिकॉन के लिए एक शुष्क वाष्प चरण है जो मूलतः कैलिफोर्निया विश्वविद्यालय, लॉस एंजिल्स में 1995 में mems के लिए लागू किया गया था।<ref>{{cite book|title=Microelectronic Structures and Microelectromechanical Devices for Optical Processing and Multimedia Applications|vauthors=Chang FI, Yeh R, Lin G, Chu PB, Hoffman EG, Kruglick EJ, Pister KS, Hecht MH|publisher=[[SPIE]]|year=1995|volume=2641|location=Austin, TX|pages=117|chapter=Gas-phase silicon micromachining with xenon difluoride|doi=10.1117/12.220933|s2cid=39522253|display-authors=3|editor1-last=Bailey|editor1-first=Wayne|editor2-last=Motamedi|editor2-first=M. Edward|editor3-last=Luo|editor3-first=Fang-Chen}}</ref><ref>{{Cite thesis|type=M.S.|title=Xenon difluoride etching of silicon for MEMS|last=Chang|first=Floy I-Jung|publisher=University of California|location=Los Angeles|oclc=34531873|date=1995}}</ref> मुख्य रूप से सिलिकॉन को कम करके धातु और ढांकता हुआ संरचनाओं को जारी करने के लिए उपयोग किया जाता है, {{chem|XeF|2}}के विपरीत स्टिक-फ्री रिलीज का फायदा है। सिलिकॉन के लिए इसकी नक़्क़ाशी चयनात्मकता बहुत अधिक है, जो इसे फोटोरेसिस्ट, {{chem|SiO|2}} के साथ काम करने की अनुमति देती है,  सिलिकॉन नाइट्राइड, और मस्किंग के लिए विभिन्न धातुओं। सिलिकॉन के प्रति इसकी प्रतिक्रिया प्लास्मलेस है, जो विशुद्ध रूप से रासायनिक और स्वतःस्फूर्त है और अक्सर स्पंदित मोड में संचालित होता है।<ref>{{cite book|title=17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems. Maastricht MEMS 2004 Technical Digest|vauthors=Brazzle JD, Dokmeci MR, Mastrangelo CH|publisher=[[Institute of Electrical and Electronics Engineers|IEEE]]|year=2004|isbn=9780780382657|pages=737–740|chapter=Modeling and characterization of sacrificial polysilicon etching using vapor-phase xenon difluoride|doi=10.1109/MEMS.2004.1290690|s2cid=40417914}}</ref> नक़्क़ाशी कार्रवाई के मॉडल उपलब्ध हैं,और विश्वविद्यालय प्रयोगशालाएं और विभिन्न वाणिज्यिक उपकरण इस दृष्टिकोण का उपयोग करके समाधान प्रदान करते हैं।
 ===== प्लाज्मा नक़्क़ाशी =====
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 {{Main|Thermal oxidation}}
 माइक्रो और नैनो-स्केल घटकों के आकार को नियंत्रित करने के लिए, तथाकथित एटीसीलेस प्रक्रियाओं का उपयोग अक्सर किया जाता है। MEMS के निर्माण के लिए यह दृष्टिकोण ज्यादातर सिलिकॉन के ऑक्सीकरण पर निर्भर करता है, जैसा कि डील-ग्रोव मॉडल द्वारा वर्णित है। थर्मल ऑक्सीकरण प्रक्रियाओं का उपयोग अत्यधिक सटीक आयामी नियंत्रण के साथ विविध सिलिकॉन संरचनाओं का उत्पादन करने के लिए किया जाता है। ऑप्टिकल फ्रीक्वेंसी कॉमब्स,<ref>[https://www.nature.com/articles/ncomms7299?origin=ppub Silicon-chip mid-infrared frequency comb generation] Nature, 2015.</ref> और सिलिकॉन MEMS दबाव सेंसर,<ref>{{Cite journal |doi = 10.1016/j.sna.2014.12.033|title = Fabrication of electron beam physical vapor deposited polysilicon piezoresistive MEMS pressure sensor|journal = Sensors and Actuators A: Physical|volume = 223|pages = 151–158|year = 2015|last1 = Singh|first1 = Kulwant|last2 = Joyce|first2 = Robin|last3 = Varghese|first3 = Soney|last4 = Akhtar|first4 = J.}}</ref> सहित उपकरण थर्मल ऑक्सीकरण प्रक्रियाओं के उपयोग के माध्यम से एक या दो आयामों में सिलिकॉन संरचनाओं को ठीक करने के लिए उत्पादित किए गए हैं। थर्मल ऑक्सीकरण सिलिकॉन नैनोवायर के निर्माण में विशेष मूल्य का है, जो व्यापक रूप से मेम्स सिस्टम में यांत्रिक और विद्युत दोनों घटकों के रूप में कार्यरत हैं।[[File:Labonachip20017-300.jpg|thumb|माइक्रोइलेक्ट्रोमेकेनिकल सिस्टम चिप, जिसे कभी-कभी लैब-ऑन-ए-चिप कहा जाता है]]
 == अनुप्रयोग ==
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 *उपभोक्ता इलेक्ट्रॉनिक्स (मुख्य रूप से मोबाइल उपकरणों के लिए प्रदर्शित) में इंटरफेरोमेट्रिक मॉड्यूलेटर डिस्प्ले (IMOD) अनुप्रयोग, इंटरफेरोमेट्रिक मॉड्यूलेशन बनाने के लिए उपयोग किया जाता है - प्रतिबिंबित डिस्प्ले टेक्नोलॉजी जैसा कि मिरासोल डिस्प्ले में पाया जाता है।
 *द्रव त्वरण, जैसे माइक्रो-कूलिंग के लिए।
-*सूक्ष्म पैमाने पर ऊर्जा कटाई जिसमें पीजोइलेक्ट्रिक,<ref>{{cite journal|vauthors=Hajati A, Kim SG|date=2011|title=Ultra-wide bandwidth piezoelectric energy harvesting|journal=[[Applied Physics Letters|Appl. Phys. Lett.]]|volume=99|issue=8|pages=083105|doi=10.1063/1.3629551|bibcode=2011ApPhL..99h3105H|hdl=1721.1/75264|hdl-access=free}}</ref> इलेक्ट्रोस्टैटिक और विद्युत चुम्बकीय माइक्रो हार्वेस्टर शामिल हैं।
+*सूक्ष्म पैमाने पर ऊर्जा कटाई जिसमें पीजोइलेक्ट्रिक,<ref>{{cite journal|vauthors=Hajati A, Kim SG|date=2011|title=Ultra-wide bandwidth piezoelectric energy harvesting|journal=[[Applied Physics Letters|Appl. Phys. Lett.]]|volume=99|issue=8|pages=083105|doi=10.1063/1.3629551|bibcode=2011ApPhL..99h3105H|hdl=1721.1/75264|hdl-access=free}}</ref> इलेक्ट्रोस्टैटिक और विद्युत चुम्बकीय माइक्रो कटाई मशीन शामिल हैं।
 *सूक्ष्म मशीनीकृत अल्ट्रासाउंड ट्रांसड्यूसर।<ref>{{cite journal|vauthors=Hajati A|date=2012|title=Three-dimensional micro electromechanical system piezoelectric ultrasound transducer|url=https://semanticscholar.org/paper/72289fefb6bc4069266d802492938e1d12677327|journal=[[Applied Physics Letters|Appl. Phys. Lett.]]|volume=101|issue=25|pages=253101|doi=10.1063/1.4772469|bibcode=2012ApPhL.101y3101H|s2cid=46718269}}</ref><ref>{{cite journal|vauthors=Hajati A|date=2013|title=Monolithic ultrasonic integrated circuits based on micromachined semi-ellipsoidal piezoelectric domes|journal=[[Applied Physics Letters|Appl. Phys. Lett.]]|volume=103|issue=20|pages=202906|doi=10.1063/1.4831988|bibcode=2013ApPhL.103t2906H}}</ref>
 *MEMS आधारित लाउडस्पीकर इन-अर हेडफोन और हियरिंग एड जैसे अनुप्रयोगों पर ध्यान केंद्रित करते हैं।
 * MEMS दोलक
-* MEMS आधारित स्कैनिंग जांच माइक्रोस्कोप जिसमें परमाणु बल माइक्रोस्कोप भी शामिल हैं।
+* MEMS आधारित रेखाचित्रण जांच माइक्रोस्कोप जिसमें परमाणु बल माइक्रोस्कोप भी शामिल हैं।
 == उद्योग संरचना ==
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 मजबूत MEMS कार्यक्रमों के साथ कंपनियां कई आकार में आती हैं। बड़ी कंपनियां ऑटोमोबाइल, जैव चिकित्सा और इलेक्ट्रॉनिक्स जैसे अंतिम बाजारों के लिए उच्च मात्रा के सस्ते घटकों या पैकेज्ड समाधानों के निर्माण में विशेषज्ञता रखती हैं। छोटी कंपनियां अभिनव समाधान में मूल्य प्रदान करती हैं और उच्च बिक्री मार्जिन के साथ कस्टम फैब्रिकेशन के खर्च को अवशोषित करती हैं। बड़ी और छोटी दोनों कंपनियां विशेष रूप से नए MEMS प्रौद्योगिकी का पता लगाने के लिए R&D में निवेश करती हैं।
-MEMS उपकरणों के निर्माण के लिए उपयोग की जाने वाली सामग्रियों और उपकरणों का बाजार 2006 में दुनिया भर में $ 1 बिलियन से ऊपर था। सामग्री की मांग सबस्ट्रेट्स द्वारा संचालित होती है, जो बाजार का 70 प्रतिशत से अधिक हिस्सा बनाती है, पैकेजिंग कोटिंग्स और रासायनिक यांत्रिक योजना (CMP) का बढ़ता उपयोग। जबकि एमईएमएस निर्माण में प्रयुक्त अर्धचालक उपकरण का वर्चस्व बना हुआ है, 200 mm लाइनों के लिए एक प्रवासन है और कुछ MEMS अनुप्रयोगों के लिए ईच और बॉन्डिंग सहित नए उपकरण का चयन करें।
+MEMS उपकरणों के निर्माण के लिए उपयोग की जाने वाली सामग्रियों और उपकरणों का बाजार 2006 में दुनिया भर में $ 1 बिलियन से ऊपर था। सामग्री की मांग आधार द्वारा संचालित होती है, जो बाजार का 70 प्रतिशत से अधिक हिस्सा बनाती है, पैकेजिंग कोटिंग्स और रासायनिक यांत्रिक योजना (CMP) का बढ़ता उपयोग। जबकि एमईएमएस निर्माण में प्रयुक्त अर्धचालक उपकरण का वर्चस्व बना हुआ है, 200 mm लाइनों के लिए एक प्रवासन है और कुछ MEMS अनुप्रयोगों के लिए निक्षारक और बॉन्डिंग सहित नए उपकरण का चयन करें।
 == यह भी देखें ==
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 *स्क्रैच ड्राइव एक्ट्यूएटर, एमईएमएस एक्टिवेशन बार -बार लागू वोल्टेज अंतर का उपयोग करके
 {{colend}}
 ==संदर्भ==
 {{Reflist|30em}}
 ==अग्रिम पठन==
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 *''[[Microsystem Technologies]]'', published by [[Springer Publishing]], [https://www.springer.com/east/home?SGWID=5-102-70-1113744-0&changeHeader=true&referer=www.springeronline.com&SHORTCUT=www.springer.com/journal/542 Journal homepage]
 *{{cite book |year=2004 |editor1-last=Geschke |editor1-first=O. |editor2-last=Klank |editor2-first=H. |editor3-last=Telleman |editor3-first=P. |title=Microsystem Engineering of Lab-on-a-chip Devices |publisher=Wiley |isbn=3-527-30733-8 |url=https://books.google.com/books?id=EMyGfH5IgkkC}}
 ==बाहरी संबंध==
-{{Commons category|MEMS}}
 *{{cite book |first1=F. |last1=Chollet |first2=HB. |last2=Liu |date=10 August 2018 |id=5.4 |url=http://memscyclopedia.org/introMEMS.html |title=A (not so) short introduction to MEMS |isbn=9782954201504}}
 {{Microtechnology}}
-{{Authority control}}
 {{DEFAULTSORT:Microelectromechanical Systems}}
-]
-]
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