मास्कलेस लिथोग्राफी: Difference between revisions

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मास्कलेस लिथोग्राफी (एमपीएल) फोटोमास्क-रहित फोटोलिथोग्राफी-जैसी तकनीक है जिसका उपयोग यूवी विकिरण या इलेक्ट्रॉन बीम के माध्यम से रासायनिक प्रतिरोध-लेपित कार्यद्रव्य (जैसे वेफर (इलेक्ट्रॉनिक्स) पर छवि रूप को प्रकल्प या फोकस बिंदु लिखने के लिए किया जाता है।[1]

माइक्रोलिथोग्राफी में, सामान्यतः यूवी विकिरण (पराबैंगनी) प्रकाशसंवेदी पायस (या फोटोरिसिस्ट) पर समय स्थिर मास्क की छवि डालता है।[2]परंपरागत रूप से, मास्क संरेखक, सोपानी, स्कैनर और अन्य प्रकार की गैर-ऑप्टिकल तकनीकों का उपयोग सूक्ष्मसंरचना के उच्च गति वाले माइक्रोफैब्रिकेशन के लिए किया जाता है, लेकिन एमपीएल के मामले में, इनमें से कुछ अपेक्षाधिक हो जाते हैं।

मास्कलेस लिथोग्राफी में रूप को प्रकल्प करने के दो तरीके हैं: रैस्टराइज़्ड और वेक्टराइज़्डl पहले में यह इलेक्ट्रॉनिक रूप से संशोधित (वर्चुअल) मास्क पर समयांतर आंतरायिक छवि की पीढ़ी का उपयोग करता है जिसे ज्ञात साधनों (लेजर डायरेक्ट इमेजिंग और अन्य समानार्थी के रूप में भी जाना जाता है) के साथ पेश किया जाता है। वेक्टर्ड दृष्टिकोण में, प्रत्यक्ष लेखन विकिरण द्वारा प्राप्त किया जाता है जो संकीर्ण बीम पर केंद्रित होता है जिसे प्रतिरोध के पार वेक्टर (सदिश) रूप में स्कैन किया जाता है। फिर बीम का उपयोग छवि को सीधे फोटोरेसिस्ट एक समय में एक या अधिक पिक्सेल में लिखने के लिए किया जाता है। इसके अतिरिक्त दो दृष्टिकोणों के संयोजन ज्ञात हैं, और यह ऑप्टिकल विकिरण तक ही सीमित नहीं है, बल्कि यूवी में भी फैली हुई है, इसमें इलेक्ट्रॉन बीम और एमईएमएस उपकरणों के माध्यम से यांत्रिक या ऊष्मीय पृथक्करण भी सम्मिलित है।

लाभ

एमपीएल लाभ बड़ी और सस्ती उपलब्ध कंप्यूटिंग क्षमता द्वारा सक्षम रूप की उच्च गति समानांतर हेरफेर है, जो मानक दृष्टिकोण के साथ कोई समस्या नहीं है जो एक धीमी, लेकिन सटीक संरचना प्रक्रिया के लिए तेजी से और अत्यधिक से मास्क लिखने के लिए अलग उद्योग द्वारा मांग के अनुसार उच्च प्रतिकृति साद्यांत प्राप्त करने के लिए समानांतर प्रतिलिपि प्रक्रिया है।

मास्क रहित लिथोग्राफी का प्रमुख लाभ नया फोटोमास्क बनाने की लागत के बिना, लिथोग्राफी रूप को एक मार्ग से दूसरे मार्ग में बदलने की क्षमता है। यह डबल संरूपण या गैर-रैखिक सामग्री व्यवहार के मुआवजे के लिए उपयोगी सिद्ध हो सकता है (उदाहरण के लिए सस्ता, गैर-क्रिस्टलीय कार्यद्रव्य का उपयोग करते समय या पूर्ववर्ती संरचनाओं की यादृच्छिक नियोजन त्रुटियों की भरपाई के लिए)।

नुकसान

प्रतिकृति प्रक्रिया के लिए मुख्य नुकसान जटिलता और लागत हैं, अधिप्रतिचयन के संबंध में रेखांकन की सीमा उपघटन उपकरण का कारण बनती है, विशेष रूप से छोटी संरचनाओं (जो उपज को प्रभावित कर सकती है) के साथ, जबकि प्रत्यक्ष वेक्टर लेखन साद्यांत में सीमित है। साथ ही ऐसी प्रणालियों का अंकीय साद्यांत उच्च विश्लेषण के लिए एक अड़चन बनाता है, अर्थात ~ 707cm² के अपने क्षेत्र के साथ 300 मिमी व्यास के वेफर को संरचित करने के लिए लगभग 10 TiB आँकड़े की आवश्यकता होती है, बिना अधिप्रतिचयन के रेखापुंज प्रारूप में और इस प्रकार कदम-कलाकृतियों (उपघटन) से ग्रस्त होता है। इन शिल्पकृतियों को कम करने के लिए 10 के कारक द्वारा अधिप्रतिचयन 1PiB प्रति ऐकल वेफर परिमाण के दो अन्य अनुक्रम जोड़ता है जिसे उच्च मात्रा विनिर्माण गति प्राप्त करने के लिए कार्यद्रव्य में ~1 मिनट में स्थानांतरित किया जाना है। औद्योगिक मास्कलेस लिथोग्राफी इसलिए वर्तमान में केवल व्यापक रूप से कम विश्लेषण क्रियाधार की संरचना के लिए पाई जाती है, जैसे कि पीसीबी-पैनल उत्पादन में, जहां विश्लेषण ~ 50µm सबसे आम हैं (घटकों पर ~ 2000 गुना कम साद्यांत मांग पर)।

रूप

वर्तमान में, मास्क रहित लिथोग्राफी के मुख्य रूप इलेक्ट्रॉन बीम और ऑप्टिकल हैं। इसके अतिरिक्त, केंद्रित आयन बीम (एफआईबी) प्रणाली ने विफलता विश्लेषण और दोष सुधार में महत्वपूर्ण विशिष्ट भूमिका स्थापित की है। साथ ही, यांत्रिक और थर्मली पृथक्करण जांच युक्तियों की सरणियों पर आधारित प्रणालियों का प्रदर्शन किया गया है।

इलेक्ट्रॉन बीम (ई-बीम)

आज मास्क रहित लिथोग्राफी का सबसे अधिक उपयोग किया जाने वाला रूप इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी है। इसका व्यापक उपयोग इलेक्ट्रॉन बीम ऊर्जा की समान विस्तृत श्रृंखला (~ 10 इलेक्ट्रॉन वोल्ट से ~ 100 किलो-इलेक्ट्रॉन वोल्ट) तक पहुँचने के लिए उपलब्ध इलेक्ट्रॉन बीम प्रणाली की विस्तृत श्रृंखला के कारण है। यह पहले से ही ईएएसआईसी में वेफर-स्तर के उत्पादन में उपयोग किया जा रहा है, जो एएसआईसी के कम लागत वाले उत्पादन के लिए परत के माध्यम से एकल को अनुकूलित करने के लिए पारंपरिक प्रत्यक्ष लेखन इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी का उपयोग करता है।

वर्तमान में विकसित की जा रही अधिकांश मास्क रहित लिथोग्राफी प्रणालियां बहु इलेक्ट्रॉन बीम के उपयोग पर आधारित हैं।[3] लक्ष्य बड़े क्षेत्रों के संरूपण को तेज करने के लिए बीम की समानांतर स्कैनिंग का उपयोग करना है। हालाँकि, यहाँ मूलभूत विचार यह है कि निकटतम बीम से किस श्रेणी इलेक्ट्रॉन एक दूसरे को परेशान कर सकते हैं (कूलॉम्ब प्रतिकर्षण से)। चूंकि समानांतर बीम में इलेक्ट्रॉन समान रूप से तेजी से सफर कर रहे हैं, वे लगातार एक दूसरे को पीछे हटा देंगे, जबकि इलेक्ट्रॉन लेंस इलेक्ट्रॉनों के प्रक्षेपवक्र के केवल एक हिस्से पर कार्य करते हैं।

ऑप्टिकल

डायरेक्ट लेजर राइटिंग (मल्टीफोटोन लिथोग्राफी) ऑप्टिकल मास्कलेस लिथोग्राफी का बहुत लोकप्रिय रूप है, जो आर एंड डी प्रोसेसिंग (छोटे बैच उत्पादन) में लचीलापन, उपयोग में आसानी और लागत प्रभावशीलता प्रदान करता है। अंतर्निहित तकनीक फोटोरेसिस्ट (अंकीय प्रकाश प्रक्रमण उपकरणों के समान तरीके से) के साथ कार्यद्रव्य तक पहुंचने से लेजर मार्ग को अवरुद्ध करने के लिए ग्लास पर आधारित स्थानिक प्रकाश न्यूनाधिक (एसएलएम) माइक्रो-एरे का उपयोग करती है।[4][5] यह उपकरण उप-माइक्रोमीटर विश्लेषण पर तेजी से संरूपण प्रदान करता है, और लगभग 200 नैनोमीटर या उससे अधिक के विशेष गुण आकार के साथ काम करते समय प्रदर्शन और लागत के बीच समझौता करता है। माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक पैकेजिंग, 3डी इलेक्ट्रॉनिक्स और विषम एकीकरण के लिए प्रत्यक्ष लेजर लेखन 1995 में ऑस्टिन, टेक्सास में माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक और कंप्यूटर प्रौद्योगिकी निगम (या एमसीसी) में विकसित किया गया था।[6] एमसीसी प्रणाली को 3D सतहों के लिए सटीक नियंत्रण और समयोचित मशीन अधिगम के साथ कृत्रिम बुद्धिमत्ता सॉफ्टवेयर (आर्टिफिशियल इंटेलिजेंस सॉफ़्टवेयर) के साथ पूरी तरह से एकीकृत किया गया था और इसमें मानक i-लाइन प्रतिरोध और डीयूवी 248 नैनोमीटर के लिए लेजर तरंग दैर्ध्य सम्मिलित थे। एमसीसी प्रणाली में प्रोग्राम योग्य वेफर डिजाइन पर परिपथ को अलग करने के लिए परिपथ संपादन क्षमताएं भी सम्मिलित थीं। 1999 में, एमसीसी प्रणाली एमईएमएस निर्माण में उपयोग के लिए उन्नत थी।[7]

हस्तक्षेप लिथोग्राफी या होलोग्राफिक एक्सपोजर मास्क रहित प्रक्रियाएं नहीं हैं और इसलिए उन्हें "मास्कलेस" के रूप में नहीं गिना जाता है, चूंकि उनके बीच कोई 1:1 इमेजिंग प्रणाली नहीं है।

प्लाज़ोनिक नैनोलिथोग्राफी डायरेक्ट राइटिंग लिथोग्राफी स्कैनिंग जांच के माध्यम से स्थानीयकृत सतह प्लास्मोन उत्तेजनाओं का उपयोग सीधे फोटोरेसिस्ट को उजागर करने के लिए करती है।[8]

बेहतर छवि विश्लेषण के लिए, पराबैंगनी प्रकाश, जिसमें दृश्य प्रकाश की तुलना में कम तरंग दैर्ध्य होता है, का उपयोग लगभग 100 नैनोमीटर तक विश्लेषण प्राप्त करने के लिए किया जाता है। आज उपयोग में आने वाली मुख्य ऑप्टिकल मास्कलेस लिथोग्राफी प्रणालियां अर्धचालक और एलसीडी उद्योगों के लिए फोटोमास्क बनाने के लिए विकसित की गई हैं।

2013 में, स्विनबर्न प्रौद्योगिकी विश्वविद्यालय के समूह ने विभिन्न तरंग दैर्ध्य के दो ऑप्टिकल बीम के संयोजन का उपयोग करते हुए 9 नैनोमीटर विशेष गुण आकार और 52 नैनोमीटर पिच की अपनी उपलब्धि प्रकाशित की हैं।[9]

डीएलपी तकनीक का उपयोग मास्क रहित लिथोग्राफी के लिए भी किया जा सकता है।[10]

केंद्रित आयन बीम

केन्द्रित किए गए आयन बीम प्रणाली का उपयोग सामान्यतः दोषों को दूर करने या दबी हुई विशेषताओं को उजागर करने के लिए किया जाता है। आयन कण क्षेपण के उपयोग में बिखरा हुआ पदार्थ के पुनर्निक्षेपण को ध्यान में रखना चाहिए।

जांच-टिप संपर्क

आईबीएम रिसर्च ने परमाणु बल माइक्रोस्कोपी पर आधारित वैकल्पिक मास्कलेस लिथोग्राफी तकनीक विकसित की है।[11] इसके अतिरिक्त, डीआईपी पेन नैनोलिथोग्राफी संरूपण सबमाइक्रोमीटर सुविधाओं के लिए आशाजनक नया दृष्टिकोण है।

अनुसंधान

2000s

तकनीकें जो मास्क रहित लिथोग्राफी को सक्षम करती हैं, पहले से ही फोटोमास्क के उत्पादन और सीमित वेफर-स्तर के उत्पादन में उपयोग की जाती हैं। उच्च मात्रा के निर्माण में इसके उपयोग के आगे कुछ बाधाएँ हैं। सबसे पहले, मास्कलेस तकनीकों की विस्तृत विविधता है। इलेक्ट्रॉन-बीम श्रेणी के भीतर भी, पूरी तरह से अलग स्थापत्य और बीम ऊर्जा वाले कई विक्रेता (मल्टीबीम, मैपर लिथोग्राफी, कैनन (कंपनी), सुगंधित, नुफलेर, जेओएल) हैं। दूसरा, प्रति घंटे 10 वेफर्स से अधिक के साद्यांत लक्ष्यों को अभी भी पूरा करने की आवश्यकता है। तीसरा, बड़े आँकड़े प्रबलता ( टेराबिट-स्केल)को संभालने की क्षमता और क्षमता को विकसित और प्रदर्शित करने की आवश्यकता है।

हाल के वर्षों में डीएरपीए और एनआईएसटी ने अमेरिका में मास्क रहित लिथोग्राफी के लिए समर्थन कम कर दिया है।[12]

एक यूरोपीय कार्यक्रम था जो 2009 में 32-नैनोमीटर हाफ-पिच नोड पर आईसी निर्माण के लिए मास्कलेस लिथोग्राफी के प्रवेश को आगे बढ़ाएगा।[13]ईसी 7वें फ्रेमवर्क प्रोग्राम (एफपी7) के फ्रेम में परियोजना का नाम मैजिक, या "एमएस्कलेस लिथोग्राफी फॉर आईसी मैन्युफैक्चरिंग" था।[14]

एकाधिक संरूपण के लिए बढ़ी हुई मास्क लागत के कारण, मास्क रहित लिथोग्राफी एक बार फिर इस क्षेत्र में प्रासंगिक शोध को प्रेरित करती है।

डीएरपीए (संयुक्त राज्य अमेरिका)

कम से कम 2001 के बाद से डार्पा ने कम-मात्रा निर्माण प्रक्रिया को सक्षम करने के लिए समानांतर ई-बीम सरणियों, समानांतर स्कैनिंग जांच सरणियों और अभिनव ई-बीम लिथोग्राफी उपकरण सहित विभिन्न प्रकार की मास्कलेस संरूपण तकनीकों में निवेश किया है। तकनीक का कोडनेम ग्रेटिंग ऑफ रेगुलर एरे और ट्रिम एक्सपोजर (ग्रेट) (पहले लागत प्रभावी कम प्रबलता नैनोफैब्रिकेशन के रूप में जाना जाता था) है।[15][16][17]

अर्थशास्त्र

फाउंड्रीज

2018 में डच और रूस ने संयुक्त रूप से वित्त पोषित कंपनी मैपर लिथोग्राफी कंपनी मैपर लिथोग्राफी का निर्माण किया, जो मल्टी ई-बीम मास्कलेस लिथोग्राफी एमईएमएस घटकों का निर्माण कर रही थी और उस समय एक प्रमुख प्रतियोगी एएसएमएल होल्डिंग द्वारा अधिग्रहित की गई थी।[18][19]फाउंड्री उत्पादक उपकरण मास्को, रूस के पास स्थित है। 2019 की शुरुआत में इसे मैपर एलएलसी द्वारा चलाया गया था।[20] मैपर लिथोग्राफी मूल रूप से 2000 में डेल्फ़्ट यूनिवर्सिटी ऑफ टेक्नोलॉजी में बनाई गई थी।[21]

संदर्भ

  1. ↑ Walsh, M.E.; Zhang, F.; Menon, R.; Smith, H.I. (2014). "Maskless photolithography". Nanolithography. pp. 179–193. doi:10.1533/9780857098757.179. ISBN 9780857095008.
  2. ↑ R. Menon et al., Materials Today, Feb. 2005, pp. 26-33 (2005).
  3. ↑ T. H. P. Chang et al., Microelectronic Engineering 57-58, pp. 117-135 (2001).
  4. ↑ Jung, Il Woong; Wang, Jen-Shiang; Solgaard, O. (August 2006). "Spatial Light Modulators for Maskless Lithography". IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications Conference, 2006.: 150–151. doi:10.1109/OMEMS.2006.1708309.
  5. ↑ Watson, G. P.; Aksyuk, V.; Simon, M. E.; Tennant, D. M.; Cirelli, R. A.; Mansfield, W. M.; Pardo, F.; Lopez, D. O.; Bolle, C. A.; Papazian, A. R.; Basavanhally, N. (2006). "Spatial light modulator for maskless optical projection lithography". Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures (in English). 24 (6): 2852. doi:10.1116/1.2387156.
  6. ↑ Yee, I.; Miracky, R.; Reed, J.; Lunceford, B.; Minchuan Wang; Cobb, D.; Caldwell, G. (1997). "Flexible manufacturing of multichip modules for flip chip ICs". Proceedings 1997 IEEE Multi-Chip Module Conference. pp. 130–132. doi:10.1109/MCMC.1997.569357. ISBN 0-8186-7789-9. S2CID 111088663.
  7. ↑ Hilbert, C.; Nelson, R.; Reed, J.; Lunceford, B.; Somadder, A.; Hu, K.; Ghoshal, U. (1999). "Thermoelectric MEMS coolers". Eighteenth International Conference on Thermoelectrics. Proceedings, ICT'99 (Cat. No.99TH8407). pp. 117–122. doi:10.1109/ICT.1999.843347. ISBN 0-7803-5451-6. S2CID 46697625.
  8. ↑ Xie, Zhihua; Yu, Weixing; Wang, Taisheng; et al. (31 May 2011). "Plasmonic nanolithography: a review". Plasmonics. 6 (3): 565–580. doi:10.1007/s11468-011-9237-0. S2CID 119720143.
  9. ↑ Gan, Zongsong; Cao, Yaoyu; Evans, Richard A.; Gu, Min (October 2013). "Three-dimensional deep sub-diffraction optical beam lithography with 9 nm feature size". Nature Communications. 4 (1): 2061. doi:10.1038/ncomms3061. PMID 23784312.
  10. ↑ "Maskless Lithography tool". NanoSystem Solutions, Inc. October 17, 2017.
  11. ↑ P. Vettiger et al., IBM J. Res. Dev. 44, pp. 323-340 (2000).
  12. ↑ "Darpa, NIST to end funding for U.S. maskless lithography". EETimes. January 19, 2005.
  13. ↑ [1] EU forms new maskless litho group
  14. ↑ "CORDIS | European Commission". Archived from the original on 2008-03-28. Retrieved 2012-07-17.
  15. ↑ "Department of Defense Fiscal Year (FY) 2010 Budget Estimates" (PDF). May 2009.{{cite web}}: CS1 maint: url-status (link)
  16. ↑ "स्टैकपाथ". www.militaryaerospace.com. Retrieved 2021-06-19.
  17. ↑ Fritze, M.; Tyrrell, B.; Astolfi, D.; Yost, D.; Davis, P.; Wheeler, B.; Mallen, R.; Jarmolowicz, J.; Cann, S.; Chan, D.; Rhyins, P.; Carney, C.; Ferri, J.; Blachowicz, B. A. (2001). "Gratings of regular arrays and trim exposures for ultralarge scale integrated circuit phase-shift lithography". Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures. 19 (6): 2366. Bibcode:2001JVSTB..19.2366F. doi:10.1116/1.1408950.
  18. ↑ "ASML takes over Mapper Lithography after the bankruptcy". habr.com (in English). Retrieved 2021-06-05.
  19. ↑ Anonym. "Chip machine maker ASML buys bankrupt competitor Mapper | tellerreport.com". www.tellerreport.com (in English). Retrieved 2021-06-05.
  20. ↑ "ASML takes over Mapper Lithography after the bankruptcy". habr.com (in English). Retrieved 2021-06-05.
  21. ↑ Anonym. "Chip machine maker ASML buys bankrupt competitor Mapper | tellerreport.com". www.tellerreport.com (in English). Retrieved 2021-06-05.

बाहरी कड़ियाँ

  • Wieland, M. J.; De Boer, G.; Ten Berge, G. F.; Jager, R.; Van De Peut, T.; Peijster, J. J. M.; Slot, E.; Steenbrink, S. W. H. K.; Teepen, T. F.; Van Veen, A. H. V.; Kampherbeek, B. J. (2009). "MAPPER: High-throughput maskless lithography". In Schellenberg, Frank M; La Fontaine, Bruno M (eds.). Alternative Lithographic Technologies. Vol. 7271. pp. 72710O. doi:10.1117/12.814025. S2CID 173181588.
  • 35th European Mask and Lithography Conference (EMLC 2019)
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