तेजी से थर्मल प्रसंस्करण

रैपिड थर्मल प्रोसेसिंग (आरटीपी) एक अर्धचालक उपकरण का निर्माण है जो सिलिकॉन वेफर्स को कुछ सेकंड से अधिक नहीं के लिए 1,000 ° C से अधिक तापमान पर गर्म करता है। शीतलक के समय वेफर तापमान को धीरे-धीरे नीचे लाया जाना चाहिए जिससे थर्मल शॉक के कारण विस्थापन और वेफर टूटना रोका जा सकता है ऐसी तीव्र ताप दर अधिकांशतः उच्च तीव्रता वाले लैंप या लेज़रों द्वारा प्राप्त की जाती है। इन प्रक्रियाओं का उपयोग अर्धचालक निर्माण में डोपेंट सक्रियण, थर्मल ऑक्सीकरण, धातु रिफ्लो और रासायनिक वाष्प जमाव सहित विभिन्न प्रकार के अनुप्रयोगों के लिए किया जाता है।

तापमान नियंत्रण

तेजी से तापीय प्रसंस्करण में प्रमुख चुनौतियों में से एक वेफर तापमान का स्पष्ट माप और नियंत्रण है। थर्मोकपल के साथ परिवेश की निगरानी वर्तमान ही में संभव हो गई है, जिसमें उच्च तापमान रैंप दर वेफर को प्रक्रिया कक्ष के साथ थर्मल संतुलन में आने से रोकते हैं। वास्तविक समय नियंत्रण को प्रभावित करने के लिए एक तापमान नियंत्रण रणनीति में सीटू पायरोमेट्री सम्मिलित है। वेल्डिंग प्रयोजनों के लिए लोहे को पिघलाने के लिए उपयोग किया जाता है।

रैपिड थर्मल एनील

रैपिड थर्मल एनील (आरटीए) रैपिड थर्मल प्रोसेसिंग में निर्माण (अर्धचालक) में उपयोग की जाने वाली एक प्रक्रिया है जिसमें एक समय में एक वेफर (इलेक्ट्रॉनिक्स) को गर्म करना सम्मिलित है जिससे इसके विद्युत गुणों को प्रभावित किया जा सकता है। अद्वितीय गर्मी उपचार विभिन्न प्रभावों के लिए डिज़ाइन किए गए हैं। डोपेंट को सक्रिय करने के लिए वेफर्स को गर्म किया जा सकता है फिल्म-टू-फिल्म या फिल्म-टू-वेफर सब्सट्रेट इंटरफेस को बदल सकते हैं जमा फिल्मों को सघन कर सकते हैं, बढ़ी हुई फिल्मों की स्थिति बदल सकते हैं आयन आरोपण से क्षति की सुधार कर सकते हैं डोपेंट को स्थानांतरित कर सकते हैं या एक फिल्म से डोपेंट को ड्राइव कर सकते हैं। दूसरा या एक फिल्म से वेफर सब्सट्रेट में है ।

रैपिड थर्मल एनील्स उपकरण द्वारा किया जाता है जो एक समय में एक ही वेफर को दीपक आधारित तापक, एक गर्म चक, या एक गर्म प्लेट का उपयोग करके एक वेफर के पास लाया जाता है। भट्ठी के एनील्स के विपरीत वे कम अवधि के होते हैं प्रत्येक वेफर को कई मिनटों में संसाधित करते हैं।

कम एनीलिंग समय और त्वरित थ्रूपुट प्राप्त करने के लिए तापमान और प्रक्रिया एकरूपता तापमान माप और नियंत्रण और वेफर तनाव में बलिदान किए जाते हैं।

आरटीपी-जैसी प्रसंस्करण ने एक और तेजी से बढ़ते क्षेत्र में आवेदन पाया है: सौर सेल निर्माण आरटीपी-जैसी प्रसंस्करण, जिसमें ऑप्टिकल विकिरण को अवशोषित करके अर्धचालक प्रतिरूप गरम किया जाता है कई सौर सेल निर्माण चरणों के लिए उपयोग किया जाता है, जिसमें एन / पी जंक्शन गठन और अशुद्धता प्राप्त करने के लिए फॉस्फोरस प्रसार अशुद्धता और दोष निष्क्रियता के लिए हाइड्रोजन प्रसार सम्मिलित है। और क्रमशः आगे के संपर्कों के लिए एग-इंक और पीछे के संपर्कों के लिए अल-इंक का उपयोग करके स्क्रीन-मुद्रित संपर्कों का निर्माण है ।

यह भी देखें

• तम्मन और हुटिग तापमान

बाहरी संबंध

• IEEE RTP Conference Proceedings
• RTP-Technology
• Different Heating Systems with Microwaves/Plasma