फैन फिल्टर यूनिट: Difference between revisions

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[[File:Cleanroom1.jpg|thumb|270px|माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक (सेमीकंडक्टर) निर्माण के लिए क्लीनरूम की फिल्टर सीलिंग ग्रिड जिसमें फिल्टर फैन यूनिट स्थापित हैं]]एक फैन फिल्टर यूनिट (एफएफयू ) एक प्रकार का मोटराइज्ड [[एयर फिल्टर]] उपकरण है। इसका उपयोग पुनरावर्तक वायु से हानिकारक वायुजनित कणों को हटाकर साफ कमरे, प्रयोगशालाओं, चिकित्सा सुविधाओं या सूक्ष्म वातावरण में शुद्ध हवा की आपूर्ति के लिए किया जाता है।<ref name=Kohli2009 >{{Cite book | last1=Kohli | first1=Rajiv | year=2009 | title=सतह संदूषण और सफाई में विकास - कण जमाव, नियंत्रण और निष्कासन| last2=Mittal | first2=Kashmiri L. | publisher=William Andrew | isbn=978-1-4377-7830-4 | url=https://books.google.com/books?id=hQWekw9gF-8C | page=164}}</ref> इकाइयां सिस्टम की छत या फर्श ग्रिड के अंदर स्थापित की जाती हैं। बड़े क्लीनरूम के लिए आनुपातिक रूप से बड़ी संख्या में एफएफयू की आवश्यकता होती है, जो कुछ स्थितियों में कई सौ से लेकर कई हजार तक हो सकते हैं।<ref name="Kohli2009"/><ref name=ScienceDirect2011>{{cite journal |title=Building and Environment: Performance of large fan-filter units for cleanroom applications |publisher=ScienceDirect |doi=10.1016/j.buildenv.2006.05.007 |volume=42 |journal=Building and Environment |pages=2299–2304}}</ref> इकाइयों में अधिकांशतः अपना स्वयं का पूर्व-फ़िल्टर, [[HEPA]] फ़िल्टर और आंतरिक रूप से नियंत्रित पंखा वायु वितरण होता है।<ref name="स्वच्छ कमरे2007">{{cite book|title=स्वच्छ कमरे|url=https://books.google.com/books?id=hC4jMEgg3oIC|access-date=26 October 2011|volume=21|date=Mar 2007|pages=16–17|issn=1043-8017|author1 = Pennwell}}</ref>
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== डिजाइन ==
== डिजाइन ==
एफएफयू सामान्यतः पर 4' x 2', 3' x 2', या 2' x 2' स्टील हाउसिंग में निर्मित होते हैं, जिन्हें समान आयामों के सीलिंग ग्रिड बे में रखा जा सकता है।<ref name="ScienceDirect2011"/>इकाइयों में अधिकांशतः प्री-फिल्टर के साथ-साथ एक HEPA (हाई-एफिशिएंसी पार्टिकुलेट एयर), [[ULPA]] (अल्ट्रा-लो पार्टिकुलेट एयर) या अन्य [[MERV]] (न्यूनतम दक्षता रिपोर्टिंग वैल्यू) फिल्टर होते हैं। एक मोटर चालित पंखे का उपयोग फिल्टर के माध्यम से हवा खींचने के लिए कमरे या संलग्न कार्य स्टेशनों जैसे हुडों में वितरण के लिए किया जाता है।<ref name="CleanRooms2007"/>पंखे की गति को सामान्यतः चरण-वार या रिओस्टेट मोटर समायोजन के माध्यम से नियंत्रित किया जाता है।<ref name="ScienceDirect2011"/><ref name="CleanRooms2007"/>वांछित स्वच्छता स्तर उपयोग किए गए फ़िल्टर को निर्धारित करते हैं: HEPA फ़िल्टर 99.99% दक्षता पर 0.3 माइक्रोन या बड़े कणों को हटाते हैं, चूँकि ULPA फ़िल्टर 99.999% दक्षता पर 0.12 माइक्रोन या बड़े कणों को हटाते हैं।<ref name="CleanRooms2007"/>एफएफयू को लामिनार वायु प्रवाह के लिए इंजीनियर किया जाता है, जैसा कि महत्वपूर्ण वातावरण में आवश्यक है। एक समान दिशा और गति में बहने वाली नियंत्रित हवा (सूक्ष्म कणों को ले जाने वाली) अशांत हवा की तुलना में स्वच्छ होती है जो कई दिशाओं में या असंगत गति से बहती है। अशांत वायु द्वारा निर्मित भँवर स्वच्छ सतहों पर बसने के लिए दूषित माइक्रोपार्टिकल्स का कारण बनते हैं।
एफएफयू सामान्यतः पर 4' x 2', 3' x 2', या 2' x 2' स्टील हाउसिंग में निर्मित होते हैं, जिन्हें समान आयामों के सीलिंग ग्रिड बे में रखा जा सकता है।<ref name="ScienceDirect2011"/>इकाइयों में अधिकांशतः प्री-फिल्टर के साथ एक HEPA (हाई-एफिशिएंसी पार्टिकुलेट एयर), [[ULPA]] (अल्ट्रा-लो पार्टिकुलेट एयर) या अन्य [[MERV]] (न्यूनतम दक्षता रिपोर्टिंग वैल्यू) फिल्टर होते हैं। एक मोटर चालित पंखे का उपयोग फिल्टर के माध्यम से हवा खींचने के लिए कमरे या संलग्न कार्य स्टेशनों जैसे हुडों में वितरण के लिए किया जाता है।<ref name="CleanRooms2007"/>पंखे की गति को सामान्यतः चरण-वार या रिओस्टेट मोटर समायोजन के माध्यम से नियंत्रित किया जाता है।<ref name="ScienceDirect2011"/><ref name="CleanRooms2007"/>वांछित स्वच्छता स्तर उपयोग किए गए फ़िल्टर को निर्धारित करते हैं: HEPA फ़िल्टर 99.99% दक्षता पर 0.3 माइक्रोन या बड़े कणों को हटाते हैं, चूँकि ULPA फ़िल्टर 99.999% दक्षता पर 0.12 माइक्रोन या बड़े कणों को हटाते हैं।<ref name="CleanRooms2007"/>एफएफयू को लामिनार वायु प्रवाह के लिए इंजीनियर किया जाता है, जैसा कि महत्वपूर्ण वातावरण में आवश्यक है। एक समान दिशा और गति में बहने वाली नियंत्रित हवा (सूक्ष्म कणों को ले जाने वाली) अशांत हवा की समानता में स्वच्छ होती है जो कई दिशाओं में या असंगत गति से बहती है। अशांत वायु के लिए निर्मित भँवर स्वच्छ सतहों पर बसने के लिए दूषित माइक्रोपार्टिकल्स का कारण बनते हैं।


== उपयोग करता है ==
== उपयोग करता है ==
4' x 2' या 2' x 2' एफएफयू को समान आयामों के साथ सीलिंग ग्रिड बे में रखने के लिए डिज़ाइन किया गया है।<ref name="CleanRooms2007"/> एफएफयू आयामों से मेल खाने वाले मानक आकार के बे के साथ सीलिंग ग्रिड का उपयोग क्लीनरूम के निर्माण के लिए किया जाता है। नियंत्रित स्थान की स्वच्छता आवश्यकताओं के आधार पर, प्रति घंटे वायु प्रवाह वेग और वायु परिवर्तन के लिए आईएसओ मानकों को पूरा करने के लिए ग्रिड में अधिक प्रशंसक फ़िल्टर इकाइयां जोड़ी जा सकती हैं।<ref>{{cite book |last1=Schneider |first1=Raymond K |year=2001 |url=http://bookstore.ashrae.biz/journal/download.php?file=schneider.pdf |title=स्वच्छ कमरे एचवीएसी सिस्टम डिजाइन करना|publisher=ASHRAE Journal|access-date=2001-08-22|archive-url=https://web.archive.org/web/20161028083517/http://bookstore.ashrae.biz/journal/download.php?file=schneider.pdf|archive-date=2016-10-28|url-status=dead}}</ref> एफएफयू का उपयोग अधिक पारंपरिक रीसर्क्युलेटिंग एयर यूनिट जैसे डक्टेड या प्लेनम एयर सिस्टम के स्थान पर किया जा सकता है।<ref name="Kohli2009"/><ref name="ScienceDirect2011"/>चूंकि एफएफयू को सीलिंग ग्रिड के ऊपर जगह की आवश्यकता होती है (एफएफयू मॉड्यूल के लिए 13 और खाली हवा से भरे 1-2 फीट की जगह), प्लेनम सामान्यतः ऊंचाई प्रतिबंधों के साथ साफ कमरे के लिए उपयोग किया जाता है; वे एकमात्र वायु प्रणालियां हैं जो छोटे आंतरिक तल आयामों वाले लेआउट में काम करती हैं।<ref name="ScienceDirect2011"/>इसके अतिरिक्त, जब एक कमरे में 20 से कम फिल्टर स्थापित होते हैं, तो पंखे से संचालित HEPA, एफएफयू को सामान्यतः अधिक पारंपरिक डक्टेड आपूर्ति प्रणाली की तुलना में कम खर्चीला माना जाता है।<ref name="CleanRooms2008">{{cite book |author1=Pennwell |url=https://books.google.com/books?id=ZEIBjJ1ET58C&pg=PT39 |title=स्वच्छ कमरे|date=March 2008 |volume=22 |page=36 |issn=1043-8017 |access-date=26 October 2011}}</ref>
4' x 2' या 2' x 2' एफएफयू को समान आयामों के साथ सीलिंग ग्रिड बे में रखने के लिए डिज़ाइन किया गया है।<ref name="CleanRooms2007"/> एफएफयू आयामों से मेल खाने वाले मानक आकार के बे के साथ सीलिंग ग्रिड का उपयोग क्लीनरूम के निर्माण के लिए किया जाता है। नियंत्रित स्थान की स्वच्छता आवश्यकताओं के आधार पर, प्रति घंटे वायु प्रवाह वेग और वायु परिवर्तन के लिए आईएसओ मानकों को पूरा करने के लिए ग्रिड में अधिक प्रशंसक फ़िल्टर इकाइयां जोड़ी जा सकती हैं।<ref>{{cite book |last1=Schneider |first1=Raymond K |year=2001 |url=http://bookstore.ashrae.biz/journal/download.php?file=schneider.pdf |title=स्वच्छ कमरे एचवीएसी सिस्टम डिजाइन करना|publisher=ASHRAE Journal|access-date=2001-08-22|archive-url=https://web.archive.org/web/20161028083517/http://bookstore.ashrae.biz/journal/download.php?file=schneider.pdf|archive-date=2016-10-28|url-status=dead}}</ref> एफएफयू का उपयोग अधिक पारंपरिक रीसर्क्युलेटिंग एयर यूनिट जैसे डक्टेड या प्लेनम एयर सिस्टम के स्थान पर किया जा सकता है।<ref name="Kohli2009"/><ref name="ScienceDirect2011"/>चूंकि एफएफयू को सीलिंग ग्रिड के ऊपर जगह की आवश्यकता होती है (एफएफयू मॉड्यूल के लिए 13 और खाली हवा से भरे 1-2 फीट की जगह), प्लेनम सामान्यतः ऊंचाई प्रतिबंधों के साथ साफ कमरे के लिए उपयोग किया जाता है; वे एकमात्र वायु प्रणालियां हैं जो छोटे आंतरिक तल आयामों वाले लेआउट में काम करती हैं।<ref name="ScienceDirect2011"/>इसके अतिरिक्त, जब एक कमरे में 20 से कम फिल्टर स्थापित होते हैं, तो पंखे से संचालित HEPA, एफएफयू को सामान्यतः अधिक पारंपरिक डक्टेड आपूर्ति प्रणाली की तुलना में कम खर्चीला माना जाता है।<ref name="CleanRooms2008">{{cite book |author1=Pennwell |url=https://books.google.com/books?id=ZEIBjJ1ET58C&pg=PT39 |title=स्वच्छ कमरे|date=March 2008 |volume=22 |page=36 |issn=1043-8017 |access-date=26 October 2011}}</ref>


जब स्वच्छ हवा के एक सूक्ष्म वातावरण की आवश्यकता होती है, तो एफएफयू का उपयोग संलग्न कार्यस्थलों, या लैमिनार फ्लो कैबिनेटों के निर्माण के लिए किया जा सकता है। बड़े क्लीनरूम ग्रिड के समान सिद्धांत को लागू करते हुए, एफएफयू को सीधे उस जगह के ऊपर फ्री-स्टैंडिंग ग्रिड में रखा जा सकता है जिसके लिए स्वच्छ हवा की आवश्यकता होती है। वास्तव में, इस दृष्टिकोण का उपयोग सेमीकंडक्टर उद्योग में सिलिकॉन वेफर नक़्क़ाशी के लिए भी किया जाता है।<ref>{{cite web |last1= Park |first1= Jae Yong |display-authors=etal|year=2007 |title=बेहतर धातु संपर्क छेद की सफाई के लिए सिंगल-वेफर प्रक्रिया|url=http://connection.ebscohost.com/c/articles/25117140/single-wafer-process-improved-metal-contact-hole-cleaning |publisher=EBSCO Host |access-date=2007-05-10}}{{dead link|date=November 2020|bot=medic}}{{cbignore|bot=medic}}</ref>
जब स्वच्छ हवा के एक सूक्ष्म वातावरण की आवश्यकता होती है, तो एफएफयू का उपयोग संलग्न कार्यस्थलों, या लैमिनार फ्लो कैबिनेटों के निर्माण के लिए किया जा सकता है। बड़े क्लीनरूम ग्रिड के समान सिद्धांत को लागू करते हुए, एफएफयू को सीधे उस जगह के ऊपर फ्री-स्टैंडिंग ग्रिड में रखा जा सकता है जिसके लिए स्वच्छ हवा की आवश्यकता होती है। वास्तव में, इस दृष्टिकोण का उपयोग सेमीकंडक्टर उद्योग में सिलिकॉन वेफर नक़्क़ाशी के लिए भी किया जाता है।<ref>{{cite web |last1= Park |first1= Jae Yong |display-authors=etal|year=2007 |title=बेहतर धातु संपर्क छेद की सफाई के लिए सिंगल-वेफर प्रक्रिया|url=http://connection.ebscohost.com/c/articles/25117140/single-wafer-process-improved-metal-contact-hole-cleaning |publisher=EBSCO Host |access-date=2007-05-10}}{{dead link|date=November 2020|bot=medic}}{{cbignore|bot=medic}}</ref>

Revision as of 22:28, 14 June 2023

माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक (सेमीकंडक्टर) निर्माण के लिए क्लीनरूम की फिल्टर सीलिंग ग्रिड जिसमें फिल्टर फैन यूनिट स्थापित हैं

एक फैन फिल्टर यूनिट (एफएफयू) एक प्रकार का मोटराइज्ड एयर फिल्टर उपकरण है। इसका उपयोग पुनरावर्तक वायु से हानिकारक वायुजनित कणों को हटाकर साफ कमरे, प्रयोगशालाओं, चिकित्सा सुविधाओं या सूक्ष्म वातावरण में शुद्ध हवा की आपूर्ति के लिए किया जाता है।[1] इकाइयां सिस्टम की छत या फर्श ग्रिड के अंदर स्थापित की जाती हैं। बड़े क्लीनरूम के लिए आनुपातिक रूप से बड़ी संख्या में एफएफयू की आवश्यकता होती है, जो कुछ स्थितियों में कई सौ से लेकर कई हजार तक हो सकते हैं।[1][2] इकाइयों में अधिकांशतः अपना स्वयं का पूर्व-फ़िल्टर, HEPA फ़िल्टर और आंतरिक रूप से नियंत्रित पंखा वायु वितरण होता है।[3]

डिजाइन

एफएफयू सामान्यतः पर 4' x 2', 3' x 2', या 2' x 2' स्टील हाउसिंग में निर्मित होते हैं, जिन्हें समान आयामों के सीलिंग ग्रिड बे में रखा जा सकता है।[2]इकाइयों में अधिकांशतः प्री-फिल्टर के साथ एक HEPA (हाई-एफिशिएंसी पार्टिकुलेट एयर), ULPA (अल्ट्रा-लो पार्टिकुलेट एयर) या अन्य MERV (न्यूनतम दक्षता रिपोर्टिंग वैल्यू) फिल्टर होते हैं। एक मोटर चालित पंखे का उपयोग फिल्टर के माध्यम से हवा खींचने के लिए कमरे या संलग्न कार्य स्टेशनों जैसे हुडों में वितरण के लिए किया जाता है।[4]पंखे की गति को सामान्यतः चरण-वार या रिओस्टेट मोटर समायोजन के माध्यम से नियंत्रित किया जाता है।[2][4]वांछित स्वच्छता स्तर उपयोग किए गए फ़िल्टर को निर्धारित करते हैं: HEPA फ़िल्टर 99.99% दक्षता पर 0.3 माइक्रोन या बड़े कणों को हटाते हैं, चूँकि ULPA फ़िल्टर 99.999% दक्षता पर 0.12 माइक्रोन या बड़े कणों को हटाते हैं।[4]एफएफयू को लामिनार वायु प्रवाह के लिए इंजीनियर किया जाता है, जैसा कि महत्वपूर्ण वातावरण में आवश्यक है। एक समान दिशा और गति में बहने वाली नियंत्रित हवा (सूक्ष्म कणों को ले जाने वाली) अशांत हवा की समानता में स्वच्छ होती है जो कई दिशाओं में या असंगत गति से बहती है। अशांत वायु के लिए निर्मित भँवर स्वच्छ सतहों पर बसने के लिए दूषित माइक्रोपार्टिकल्स का कारण बनते हैं।

उपयोग करता है

4' x 2' या 2' x 2' एफएफयू को समान आयामों के साथ सीलिंग ग्रिड बे में रखने के लिए डिज़ाइन किया गया है।[4] एफएफयू आयामों से मेल खाने वाले मानक आकार के बे के साथ सीलिंग ग्रिड का उपयोग क्लीनरूम के निर्माण के लिए किया जाता है। नियंत्रित स्थान की स्वच्छता आवश्यकताओं के आधार पर, प्रति घंटे वायु प्रवाह वेग और वायु परिवर्तन के लिए आईएसओ मानकों को पूरा करने के लिए ग्रिड में अधिक प्रशंसक फ़िल्टर इकाइयां जोड़ी जा सकती हैं।[5] एफएफयू का उपयोग अधिक पारंपरिक रीसर्क्युलेटिंग एयर यूनिट जैसे डक्टेड या प्लेनम एयर सिस्टम के स्थान पर किया जा सकता है।[1][2]चूंकि एफएफयू को सीलिंग ग्रिड के ऊपर जगह की आवश्यकता होती है (एफएफयू मॉड्यूल के लिए 13 और खाली हवा से भरे 1-2 फीट की जगह), प्लेनम सामान्यतः ऊंचाई प्रतिबंधों के साथ साफ कमरे के लिए उपयोग किया जाता है; वे एकमात्र वायु प्रणालियां हैं जो छोटे आंतरिक तल आयामों वाले लेआउट में काम करती हैं।[2]इसके अतिरिक्त, जब एक कमरे में 20 से कम फिल्टर स्थापित होते हैं, तो पंखे से संचालित HEPA, एफएफयू को सामान्यतः अधिक पारंपरिक डक्टेड आपूर्ति प्रणाली की तुलना में कम खर्चीला माना जाता है।[6]

जब स्वच्छ हवा के एक सूक्ष्म वातावरण की आवश्यकता होती है, तो एफएफयू का उपयोग संलग्न कार्यस्थलों, या लैमिनार फ्लो कैबिनेटों के निर्माण के लिए किया जा सकता है। बड़े क्लीनरूम ग्रिड के समान सिद्धांत को लागू करते हुए, एफएफयू को सीधे उस जगह के ऊपर फ्री-स्टैंडिंग ग्रिड में रखा जा सकता है जिसके लिए स्वच्छ हवा की आवश्यकता होती है। वास्तव में, इस दृष्टिकोण का उपयोग सेमीकंडक्टर उद्योग में सिलिकॉन वेफर नक़्क़ाशी के लिए भी किया जाता है।[7]

संदर्भ

  1. ↑ 1.0 1.1 1.2 Kohli, Rajiv; Mittal, Kashmiri L. (2009). सतह संदूषण और सफाई में विकास - कण जमाव, नियंत्रण और निष्कासन. William Andrew. p. 164. ISBN 978-1-4377-7830-4.
  2. ↑ 2.0 2.1 2.2 2.3 2.4 "Building and Environment: Performance of large fan-filter units for cleanroom applications". Building and Environment. ScienceDirect. 42: 2299–2304. doi:10.1016/j.buildenv.2006.05.007.
  3. ↑ Pennwell (Mar 2007). स्वच्छ कमरे. Vol. 21. pp. 16–17. ISSN 1043-8017. Retrieved 26 October 2011.
  4. ↑ 4.0 4.1 4.2 4.3 Cite error: Invalid <ref> tag; no text was provided for refs named CleanRooms2007
  5. ↑ Schneider, Raymond K (2001). स्वच्छ कमरे एचवीएसी सिस्टम डिजाइन करना (PDF). ASHRAE Journal. Archived from the original (PDF) on 2016-10-28. Retrieved 2001-08-22.
  6. ↑ Pennwell (March 2008). स्वच्छ कमरे. Vol. 22. p. 36. ISSN 1043-8017. Retrieved 26 October 2011.
  7. ↑ Park, Jae Yong; et al. (2007). "बेहतर धातु संपर्क छेद की सफाई के लिए सिंगल-वेफर प्रक्रिया". EBSCO Host. Retrieved 2007-05-10.[dead link]

बाहरी संबंध

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