स्कैनिंग हीलियम आयन माइक्रोस्कोप

जीस माइक्रोस्कोप द्वारा ओरियन नैनोफैब हीलियम आयन माइक्रोस्कोप

माउस इनेमल की सेम (टॉप) और शिम (बॉटम) इमेज की तुलना। शिम छवियों में क्षेत्र की उत्तम गहराई होती है, जो तामचीनी सुरंगों में आंतरिक संरचना दिखाती है, जो सेम छवियों में काले धब्बे के रूप में दिखाई देती हैं।

स्कैनिंग हीलियम आयन माइक्रोस्कोप (शिम, हेम या हिम) इमेजिंग तकनीक है जो स्कैनिंग हीलियम आयन बीम पर आधारित है। अन्य केंद्रित आयन बीम तकनीकों के समान, यह सब-नैनोमीटर रिज़ॉल्यूशन पर उनके अवलोकन के साथ मिलिंग और प्रारूप को विभक्त करने की अनुमति देता है।

इमेजिंग की स्थिति में, पारंपरिक स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप (एसईएम) पर एसएचआईएम के कई लाभ हैं। अधिक उच्च स्रोत चमक, और हीलियम आयनों के लघु डी ब्रोगली तरंग दैर्ध्य के कारण, जो उनके संवेग के व्युत्क्रमानुपाती होता है, ऐसे गुणात्मक डेटा प्राप्त करना संभव है जो पारंपरिक सूक्ष्मदर्शी के साथ प्राप्त नहीं किया जा सकता है जो उत्सर्जक स्रोत के रूप में फोटॉन या इलेक्ट्रॉन का उपयोग करते हैं। जैसा कि हीलियम आयन बीम प्रारूप के साथ इंटरैक्ट करता है, यह बड़ी उत्तेजना मात्रा से ग्रस्त नहीं होता है, और इसलिए सामग्री की विस्तृत श्रृंखला पर क्षेत्र की बड़ी गहराई के साथ तीव्र छवियां प्रदान करता है। सेम की तुलना में, द्वितीयक इलेक्ट्रॉन उपज अधिक है, जिससे धाराओं के साथ इमेजिंग के लिए 1 फेम्टोएम्पियर जितना कम हो सकता है। डिटेक्टर सूचना-समृद्ध छवियां प्रदान करते हैं जो प्रारूप के स्थलाकृतिक, सामग्री, क्रिस्टलोग्राफिक और विद्युत गुणों को प्रस्तुत करते हैं। अन्य आयन बीमों के विपरीत, हीलियम आयन के अपेक्षाकृत हल्के द्रव्यमान के कारण कोई स्पष्ट प्रारूप की क्षति नहीं होती है। और व्यय कम होता है।

शिम व्यावसायिक रूप से 2007 से उपलब्ध हैं, और 0.24 नैनोमीटर के सतह विभेदन का प्रदर्शन किया गया है।

बाहरी संबंध

• Carl Zeiss SMT – Nano Technology Systems Division: ORION He-Ion microscope
• Microscopy Today, Volume 14, Number 04, July 2006: An Introduction to the Helium Ion Microscope
• How New Helium Ion Microscope Measures Up – ScienceDaily