परिचालन-स्तरीय धारिता प्रोफाइलन

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ड्राइव-लेवल कैपेसिटेंस प्रोफाइलिंग (DLCP) कैपेसिटेंस-वोल्टेज प्रोफाइलिंग का एक प्रकार है। कैपेसिटेंस-वोल्टेज-प्रोफाइलिंग लक्षण वर्णन तकनीक विशेष रूप से अनाकार ठोस और polycrystalline सामग्री के लिए विकसित की गई है, जिसमें गहरे स्तर, इंटरफ़ेस स्टेट्स या गैर-एकरूपता जैसी अधिक विसंगतियाँ हैं।

जबकि मानक सी-वी प्रोफाइल में चार्ज प्रतिक्रिया को रैखिक (डीक्यू = सीडीवी) माना जाता है, डीएलसीपी प्रोफाइल में चार्ज प्रतिक्रिया में महत्वपूर्ण गैर-रैखिक व्यवहार (डीक्यू = सी) होने की उम्मीद है।0डीवी + सी1(डीवी)2 + सी2(डीवी)3) DLCP तकनीक में उपयोग किए जाने वाले महत्वपूर्ण बड़े एसी-सिग्नल आयाम के कारण।

DLCP, प्रवेश स्पेक्ट्रोस्कोपी की तरह, दोषों के स्थानिक और ऊर्जावान वितरण दोनों को प्राप्त कर सकता है। ऊर्जावान वितरण वैकल्पिक वर्तमान संकेत की आवृत्ति को अलग करके प्राप्त किया जाता है, जबकि स्थानिक वितरण लागू प्रत्यक्ष वर्तमान-पूर्वाग्रह में संशोधनों द्वारा बनाए रखा जाता है।

डीएलसीपी एक सख्ती से गतिशील माप है, जिसका अर्थ है कि सी-वी प्रोफाइल में दर्ज स्थिर-स्थिति व्यवहार को छोड़ दिया गया है। परिणामस्वरूप, DLCP इंटरफ़ेस अवस्थाओं के प्रति असंवेदनशील है।

संदर्भ

Heath, Jennifer T., J. David Cohen, William N. Shafarman. "Bulk and MetaStable Defects in CuIn(1-x)Ga(x)Se2 Thin Films Using Drive Level Capacitance Profiling." Journal of Applied Physics. 95.3 (2004).