फैन फिल्टर यूनिट

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माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक (सेमीकंडक्टर) निर्माण के लिए क्लीनरूम की फिल्टर सीलिंग ग्रिड जिसमें फिल्टर फैन यूनिट स्थापित हैं

एक फैन फिल्टर यूनिट (FFU) एक प्रकार का मोटराइज्ड एयर फिल्टरिंग उपकरण है। इसका उपयोग पुनरावर्तक वायु से हानिकारक वायुजनित कणों को हटाकर साफ कमरे, प्रयोगशालाओं, चिकित्सा सुविधाओं या सूक्ष्म वातावरण में शुद्ध हवा की आपूर्ति के लिए किया जाता है।[1] इकाइयां सिस्टम की छत या फर्श ग्रिड के भीतर स्थापित की जाती हैं। बड़े क्लीनरूम के लिए आनुपातिक रूप से बड़ी संख्या में एफएफयू की आवश्यकता होती है, जो कुछ मामलों में कई सौ से लेकर कई हजार तक हो सकते हैं।[1][2] इकाइयों में अक्सर अपना स्वयं का पूर्व-फ़िल्टर, HEPA फ़िल्टर और आंतरिक रूप से नियंत्रित पंखा वायु वितरण होता है।[3]


डिजाइन

एफएफयू आमतौर पर 4' x 2', 3' x 2', या 2' x 2' स्टील हाउसिंग में निर्मित होते हैं, जिन्हें समान आयामों के सीलिंग ग्रिड बे में रखा जा सकता है।[2]इकाइयों में अक्सर प्री-फिल्टर के साथ-साथ एक HEPA (हाई-एफिशिएंसी पार्टिकुलेट एयर), ULPA (अल्ट्रा-लो पार्टिकुलेट एयर) या अन्य MERV (न्यूनतम दक्षता रिपोर्टिंग वैल्यू) फिल्टर होते हैं। एक मोटर चालित पंखे का उपयोग फिल्टर के माध्यम से हवा खींचने के लिए कमरे या संलग्न कार्य स्टेशनों जैसे हुडों में वितरण के लिए किया जाता है।[4]पंखे की गति को आमतौर पर चरण-वार या रिओस्टेट मोटर समायोजन के माध्यम से नियंत्रित किया जाता है।[2][4]वांछित स्वच्छता स्तर उपयोग किए गए फ़िल्टर को निर्धारित करते हैं: HEPA फ़िल्टर 99.99% दक्षता पर 0.3 माइक्रोन या बड़े कणों को हटाते हैं, जबकि ULPA फ़िल्टर 99.999% दक्षता पर 0.12 माइक्रोन या बड़े कणों को हटाते हैं।[4]एफएफयू को लामिनार वायु प्रवाह के लिए इंजीनियर किया जाता है, जैसा कि महत्वपूर्ण वातावरण में आवश्यक है। एक समान दिशा और गति में बहने वाली नियंत्रित हवा (सूक्ष्म कणों को ले जाने वाली) अशांत हवा की तुलना में स्वच्छ होती है जो कई दिशाओं में या असंगत गति से बहती है। अशांत वायु द्वारा निर्मित भँवर स्वच्छ सतहों पर बसने के लिए दूषित माइक्रोपार्टिकल्स का कारण बनते हैं।

उपयोग करता है

4' x 2' या 2' x 2' FFU को समान आयामों के साथ सीलिंग ग्रिड बे में रखने के लिए डिज़ाइन किया गया है।[4] एफएफयू आयामों से मेल खाने वाले मानक आकार के बे के साथ सीलिंग ग्रिड का उपयोग क्लीनरूम के निर्माण के लिए किया जाता है। नियंत्रित स्थान की स्वच्छता आवश्यकताओं के आधार पर, प्रति घंटे वायु प्रवाह वेग और वायु परिवर्तन के लिए आईएसओ मानकों को पूरा करने के लिए ग्रिड में अधिक प्रशंसक फ़िल्टर इकाइयां जोड़ी जा सकती हैं।[5] एफएफयू का उपयोग अधिक पारंपरिक रीसर्क्युलेटिंग एयर यूनिट जैसे डक्टेड या प्लेनम एयर सिस्टम के स्थान पर किया जा सकता है।[1][2]चूंकि एफएफयू को सीलिंग ग्रिड के ऊपर जगह की आवश्यकता होती है (एफएफयू मॉड्यूल के लिए 13 और खाली हवा से भरे 1-2 फीट की जगह), प्लेनम आमतौर पर ऊंचाई प्रतिबंधों के साथ साफ कमरे के लिए उपयोग किया जाता है; वे एकमात्र वायु प्रणालियां हैं जो छोटे आंतरिक तल आयामों वाले लेआउट में काम करती हैं।[2]इसके अतिरिक्त, जब एक कमरे में 20 से कम फिल्टर स्थापित होते हैं, तो पंखे से संचालित HEPA, FFU को आमतौर पर अधिक पारंपरिक डक्टेड आपूर्ति प्रणाली की तुलना में कम खर्चीला माना जाता है।[6] जब स्वच्छ हवा के एक सूक्ष्म वातावरण की आवश्यकता होती है, तो एफएफयू का उपयोग संलग्न कार्यस्थलों, या लैमिनार फ्लो कैबिनेटों के निर्माण के लिए किया जा सकता है। बड़े क्लीनरूम ग्रिड के समान सिद्धांत को लागू करते हुए, एफएफयू को सीधे उस जगह के ऊपर फ्री-स्टैंडिंग ग्रिड में रखा जा सकता है जिसके लिए स्वच्छ हवा की आवश्यकता होती है। वास्तव में, इस दृष्टिकोण का उपयोग सेमीकंडक्टर उद्योग में सिलिकॉन वेफर नक़्क़ाशी के लिए भी किया जाता है।[7]


संदर्भ

  1. 1.0 1.1 1.2 Kohli, Rajiv; Mittal, Kashmiri L. (2009). सतह संदूषण और सफाई में विकास - कण जमाव, नियंत्रण और निष्कासन. William Andrew. p. 164. ISBN 978-1-4377-7830-4.
  2. 2.0 2.1 2.2 2.3 2.4 "Building and Environment: Performance of large fan-filter units for cleanroom applications". Building and Environment. ScienceDirect. 42: 2299–2304. doi:10.1016/j.buildenv.2006.05.007.
  3. Pennwell (Mar 2007). स्वच्छ कमरे. Vol. 21. pp. 16–17. ISSN 1043-8017. Retrieved 26 October 2011.
  4. 4.0 4.1 4.2 4.3 Cite error: Invalid <ref> tag; no text was provided for refs named CleanRooms2007
  5. Schneider, Raymond K (2001). स्वच्छ कमरे एचवीएसी सिस्टम डिजाइन करना (PDF). ASHRAE Journal. Archived from the original (PDF) on 2016-10-28. Retrieved 2001-08-22.
  6. Pennwell (March 2008). स्वच्छ कमरे. Vol. 22. p. 36. ISSN 1043-8017. Retrieved 26 October 2011.
  7. Park, Jae Yong; et al. (2007). "बेहतर धातु संपर्क छेद की सफाई के लिए सिंगल-वेफर प्रक्रिया". EBSCO Host. Retrieved 2007-05-10.[dead link]


बाहरी संबंध