व्युत्क्रम लिथोग्राफी
अर्धचालक उपकरण निर्माण में, व्युत्क्रम लिथोग्राफी तकनीक (आईएलटी) फोटोमास्क डिजाइन के लिए दृष्टिकोण है। यह मूल रूप से एक व्युत्क्रम प्रतिबिंबन समस्या को हल करने के लिए एक दृष्टिकोण है: एक फोटोमास्क (स्रोत) में विवृति के आकार की गणना करना जिससे निकालने वाली रोशनी प्रबुद्ध वस्तु पर वांछित पैटर्न (लक्ष्य) का एक अच्छा सन्निकटन उत्पन्न करे, जैसे सामान्यतः प्रकाश प्रतिरोध पर। इस प्रकार, इसे एक विशेष प्रकार की गणितीय अनुकूलन समस्या के रूप में माना जाता है, क्योंकि सामान्यतः कोई विश्लेषणात्मक समाधान उपस्थित नहीं होता है।[1] प्रकाशीय सामीप्य संशोधन (ओपीसी)के रूप में जाने जाने वाले पारंपरिक, दृष्टिकोणों मे "स्रोत" के लिए "मैनहट्टन आकार" बनाने के लिए "क्षेत्र" को सावधानीपूर्वक ट्यून किए गए आयतों के साथ संवर्धित किया जाता है, जैसा कि चित्रण में दिखाया गया है। आईएलटी दृष्टिकोण "स्रोत" के लिए वक्ररेखीय आकृतियाँ उत्पन्न करता है, जो "क्षेत्र" के लिए बेहतर सन्निकटन प्रदान करता है।।[2]
आईएलटी को 1980 के दशक में प्रस्तावित किया गया था, चूँकि उस समय यह आवश्यक संगणनात्मक ऊर्जा और जटिल "स्रोत" आकृतियों के कारण अव्यावहारिक था, जिसने सत्यापन (डिजाइन नियम की जाँच) और निर्माण के लिए जटिलता प्रस्तुत कीं गई है। चूँकि 2000 के दशक के अंत में विकासक ने संगणनात्मक ऊर्जा में उल्लेखनीय वृद्धि के कारण ILT पर पुनर्विचार करना प्रारंभ कर दिया।[1]
संदर्भ
- ↑ 1.0 1.1 S. Chan; A. Wong; E. Lam (2008), "Initialization for robust inverse synthesis of phase-shifting masks in optical projection lithography", Optics Express, 16 (19): 14746–14760, Bibcode:2008OExpr..1614746C, doi:10.1364/OE.16.014746, PMID 18795012
- ↑ Inverse Lithography Technology (ILT)
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