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सैलिसाइड शब्द माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग में उपयोग की जाने वाली तकनीक को संदर्भित करता है जिसका उपयोग अर्धचालक उपकरण और आपस में सहायक संरचना के बीच विद्युत संपर्क बनाने के लिए किया जाता है। सैलिसाइड प्रक्रिया में उपकरण के सक्रिय क्षेत्रों में सिलिकॉन(अधातु विशेष तत्त्व ) के साथ धातु की पतली फिल्म की प्रतिक्रिया सम्मिलित होती है, जो अंततः धातु पर पानी चढ़ाने की कला और / या उत्कीर्णन प्रक्रियाओं की एक श्रृंखला के माध्यम से धातु सैलिसाइड संपर्क बनाती है। सैलिसाइड शब्द स्व-संरेखित सैलिसाइड वाक्यांश का एक संघनन है। स्व-संरेखित विवरण से पता चलता है कि संपर्क गठन के लिए फ़ोटो लीथो-मुद्रण आकृति प्रक्रियाओं की आवश्यकता नहीं होती है, जैसा कि पॉलीसाइड जैसी अतिरिक्त-संरेखित तकनीक के विपरीत है।
सैलिसाइड शब्द का उपयोग संपर्क निर्माण प्रक्रिया द्वारा निर्मित धातु सैलिसाइड, जैसे "टाइटेनियम सैलिसाइड" को संदर्भित करने के लिए भी किया जाता है, यद्यपि यह प्रयोग रसायन विज्ञान में स्वीकृत नामकरण परंपराओं के साथ असंगत है।
संपर्क गठन
सैलिसाइड प्रक्रिया पूरी तरह से निर्मित और प्रतिरूपित अर्धचालक उपकरणों (जैसे ट्रांजिस्टर) पर एक पतली संक्रमण धातु की परत के जमाव से प्रारम्भ होती है। वेफर को गर्म किया जाता है, जिससे संक्रमण धातु को अर्धचालक उपकरण के सक्रिय क्षेत्रों (जैसे, स्रोत, नाली, गेट) में अनावृत सिलिकॉन के साथ प्रतिक्रिया करने की अनुमति मिलती है, जिससे कम प्रतिरोध वाला संक्रमण धातु सैलिसाइड बनता है। संक्रमण धातु न तो सिलिकॉन डाइऑक्साइड के साथ प्रतिक्रिया करती है और न ही वेफर पर उपस्थित सिलिकॉन नाइट्राइड रोधक के साथ प्रतिक्रिया करती है। प्रतिक्रिया के बाद, किसी भी शेष संक्रमण धातु को रासायनिक धातु पर पानी चढ़ाने की कला से हटा दिया जाता है, जिससे सैलिसाइड संपर्क केवल उपकरण के सक्रिय क्षेत्रों में रह जाते हैं। पूरी तरह से एकीकृत निर्माण प्रक्रिया अधिक जटिल हो सकती है, जिसमें अतिरिक्त पानी रखना, सतह के उपचार या धातु पर पानी चढ़ाने की प्रक्रियाएं सम्मिलित हैं।
रसायन विज्ञान
सैलिसाइड तकनीक में उपयोग किए जाने वाले या उपयोग के लिए विचार की जाने वाली विशिष्ट संक्रमण धातुओं में टाइटेनियम, कोबाल्ट, निकल, प्लैटिनम और टंगस्टन सम्मिलित हैं। धातु-सिलिकॉन सैलिसाइड प्रक्रिया विकसित करने में एक प्रमुख चुनौती धातु-सिलिकॉन प्रतिक्रिया द्वारा गठित विशिष्ट चरण (यौगिक) को नियंत्रित करना है।उदाहरण के लिए, कोबाल्ट सिलिकॉन के साथ प्रतिक्रिया करके Co2Si, CoSi, CoSi2 और अन्य यौगिक बना सकता है। यद्यपि, केवल CoSi2 में प्रभावी विद्युत संपर्क बनाने के लिए पर्याप्त रूप से कम प्रतिरोध है। कुछ यौगिकों के लिए, वांछित उच्च-प्रतिरोध चरण थर्मोडायनामिक स्थिरता नहीं है, जैसे कि C49-TiSi2, जो निम्न-प्रतिरोध C54 चरण के संबंध में मेटास्टेबल है।[1]
अन्य विचार
सफल प्रक्रिया एकीकरण का सामने आने वाली एक और चुनौती में पार्श्व वृद्धि सम्मिलित है, विशेष रूप से गेट के नीचे, जो उपकरण को शार्ट सर्किट करेगा।
यह भी देखें
- स्व-संरेखित गेट
संदर्भ
- ↑ Z. Ma, L. H. Allen (2004). "3.3 Fundamental aspects of Ti/Si thin film reaction". In L.J. Chen (ed.). Silicide Technology for Integrated Circuits (Processing). IET. pp. 50–61. ISBN 9780863413520.
