केंद्रित आयन बीम

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एक एफआईबी वर्कस्टेशन

फोकस्ड [[आयन किरण]], जिसे FIB के रूप में भी जाना जाता है, विशेष रूप से सेमीकंडक्टर उद्योग, सामग्री विज्ञान और साइट-विशिष्ट विश्लेषण, निक्षेपण और पृथक्करण के लिए जैविक क्षेत्र में तेजी से उपयोग की जाने वाली तकनीक है। FIB सेटअप एक वैज्ञानिक उपकरण है जो एक स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप (SEM) जैसा दिखता है। हालाँकि, जबकि SEM कक्ष में नमूने की छवि के लिए एक केंद्रित इलेक्ट्रॉन बीम का उपयोग करता है, एक FIB सेटअप इसके बजाय आयनों के एक केंद्रित बीम का उपयोग करता है। FIB को इलेक्ट्रॉन और आयन बीम कॉलम दोनों के साथ एक सिस्टम में शामिल किया जा सकता है, जिससे किसी भी बीम का उपयोग करके एक ही विशेषता की जांच की जा सकती है। प्रत्यक्ष लेखन लिथोग्राफी (जैसे प्रोटॉन बीम लेखन) के लिए आयन बीम के बीम का उपयोग करने के साथ एफआईबी को भ्रमित नहीं होना चाहिए। ये आम तौर पर काफी अलग प्रणालियां हैं जहां सामग्री को अन्य तंत्रों द्वारा संशोधित किया जाता है।

आयन बीम स्रोत

अधिकांश व्यापक उपकरण तरल धातु आयन स्रोतों (LMIS) का उपयोग कर रहे हैं, विशेष रूप से गैलियम आयन स्रोत। मौलिक सोने और इरिडियम पर आधारित आयन स्रोत भी उपलब्ध हैं। एक गैलियम एलएमआईएस में, गैलियम धातु को टंगस्टन सुई के संपर्क में रखा जाता है, और गर्म गैलियम टंगस्टन को गीला कर देता है और सुई की नोक पर प्रवाहित होता है, जहां सतह के तनाव और विद्युत क्षेत्र के विरोधी बल गैलियम को पुच्छल आकार की नोक कहते हैं। एक टेलर कोन। इस शंकु की नोक त्रिज्या अत्यंत छोटी है (~2 एनएम)। इस छोटे सिरे पर विशाल विद्युत क्षेत्र (से अधिक 1×108 वोल्ट प्रति सेंटीमीटर) गैलियम परमाणुओं के आयनीकरण और क्षेत्र इलेक्ट्रॉन उत्सर्जन का कारण बनता है।

स्रोत आयनों को आमतौर पर की ऊर्जा के लिए त्वरित किया जाता है 1–50 kiloelectronvolts (0.16–8.01 fJ), और इलेक्ट्रोस्टैटिक लेंस द्वारा नमूने पर ध्यान केंद्रित किया। एलएमआईएस बहुत कम ऊर्जा प्रसार के साथ उच्च वर्तमान घनत्व वाले आयन बीम का उत्पादन करता है। एक आधुनिक FIB एक नमूने के दसियों नैनोएम्पीयर करंट को वितरित कर सकता है, या कुछ नैनोमीटर के क्रम में स्पॉट आकार के साथ नमूने की छवि बना सकता है।

हाल ही में, महान गैस आयनों के प्लाज्मा बीम का उपयोग करने वाले उपकरण, जैसे क्सीनन, अधिक व्यापक रूप से उपलब्ध हो गए हैं।[1]


सिद्धांत

block diagram
एफआईबी का सिद्धांत

मुख्य रूप से बड़े सेमीकंडक्टर निर्माताओं के लिए फोकस्ड आयन बीम (FIB) सिस्टम का व्यावसायिक रूप से लगभग बीस वर्षों तक उत्पादन किया गया है। FIB प्रणालियाँ इलेक्ट्रॉनों के एक बीम के बजाय एक स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप (SEM) के समान तरीके से काम करती हैं और जैसा कि नाम से पता चलता है, FIB सिस्टम आयनों (आमतौर पर गैलियम) के बारीक केंद्रित बीम का उपयोग करते हैं जो कम बीम धाराओं पर संचालित हो सकते हैं। इमेजिंग के लिए या साइट विशिष्ट स्पटरिंग या मिलिंग के लिए उच्च बीम धाराओं पर।

जैसा कि दाहिनी ओर आरेख दिखाता है, गैलियम (Ga+) प्राथमिक आयन बीम नमूना सतह से टकराता है और सामग्री की एक छोटी मात्रा को स्पटर करता है, जो सतह को द्वितीयक आयनों (i+ या i−) या तटस्थ परमाणुओं (n) के रूप में छोड़ देता है।0). प्राथमिक किरण भी माध्यमिक इलेक्ट्रॉनों का उत्पादन करती है (ई-). नमूना सतह पर प्राथमिक बीम रेखापुंज के रूप में, एक छवि बनाने के लिए थूक वाले आयनों या द्वितीयक इलेक्ट्रॉनों से संकेत एकत्र किया जाता है।

निम्न प्राथमिक बीम धाराओं पर, बहुत कम सामग्री का स्पटरिंग होता है और आधुनिक FIB सिस्टम आसानी से 5 एनएम इमेजिंग रिज़ॉल्यूशन प्राप्त कर सकते हैं (गै आयनों के साथ इमेजिंग रिज़ॉल्यूशन स्पटरिंग द्वारा ~ 5 एनएम तक सीमित है[2][3] और डिटेक्टर दक्षता)। उच्च प्राथमिक धाराओं में, स्पटरिंग द्वारा सामग्री का एक बड़ा हिस्सा हटाया जा सकता है, जिससे नमूने की सटीक मिलिंग एक उप माइक्रोमीटर या यहां तक ​​कि एक नैनो स्केल तक हो जाती है।

यदि नमूना गैर-प्रवाहकीय है, तो चार्ज न्यूट्रलाइजेशन प्रदान करने के लिए कम ऊर्जा वाली इलेक्ट्रॉन फ्लड गन का उपयोग किया जा सकता है। इस तरीके से, सकारात्मक प्राथमिक आयन बीम का उपयोग करके सकारात्मक माध्यमिक आयनों के साथ इमेजिंग करके, यहां तक ​​​​कि अत्यधिक इन्सुलेटिंग नमूनों को बिना किसी संचालन सतह कोटिंग के इमेज और मिल्ड किया जा सकता है, जैसा कि एसईएम में आवश्यक होगा।

कुछ समय पहले तक, सेमीकंडक्टर उद्योग में FIB का अत्यधिक उपयोग होता रहा है। एकीकृत सर्किट पर साइट विशिष्ट स्थानों के दोष विश्लेषण, सर्किट संशोधन, photomask मरम्मत और ट्रांसमिशन इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप (टीईएम) नमूना तैयार करने जैसे अनुप्रयोग सामान्य प्रक्रियाएं बन गए हैं। नवीनतम FIB सिस्टम में उच्च रिज़ॉल्यूशन इमेजिंग क्षमता होती है; सीटू सेक्शनिंग के साथ युग्मित इस क्षमता ने कई मामलों में, एक अलग SEM इंस्ट्रूमेंट में FIB सेक्शन किए गए नमूनों की जांच करने की आवश्यकता को समाप्त कर दिया है।[4] उच्चतम रिज़ॉल्यूशन इमेजिंग के लिए और संवेदनशील नमूनों को नुकसान से बचाने के लिए SEM इमेजिंग अभी भी आवश्यक है। हालाँकि, एक ही कक्ष पर SEM और FIB स्तंभों का संयोजन दोनों के लाभों का उपयोग करने में सक्षम बनाता है।

एफआईबी इमेजिंग

कम बीम धाराओं पर, FIB इमेजिंग रिज़ॉल्यूशन इमेजिंग स्थलाकृति के संदर्भ में अधिक परिचित स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप SEM को टक्कर देना शुरू कर देता है, हालांकि, FIB के दो इमेजिंग मोड, माध्यमिक इलेक्ट्रॉनों और माध्यमिक आयनों का उपयोग करते हुए, दोनों प्राथमिक आयन बीम द्वारा पहचाने जाते हैं। उत्पादित SEM पर कई फायदे प्रदान करता है।

माध्यमिक इलेक्ट्रॉन छवियां तीव्र अनाज अभिविन्यास विपरीत दिखाती हैं। नतीजतन, अनाज की आकृति विज्ञान को रासायनिक नक़्क़ाशी का सहारा लिए बिना आसानी से चित्रित किया जा सकता है। इमेजिंग मापदंडों के सावधानीपूर्वक चयन के माध्यम से ग्रेन बाउंड्री कंट्रास्ट को भी बढ़ाया जा सकता है। एफआईबी माध्यमिक आयन छवियां भी रासायनिक अंतर प्रकट करती हैं, और जंग के अध्ययन में विशेष रूप से उपयोगी होती हैं, क्योंकि धातुओं की माध्यमिक आयन पैदावार ऑक्सीजन की उपस्थिति में परिमाण के तीन क्रमों से बढ़ सकती है, स्पष्ट रूप से जंग की उपस्थिति का खुलासा करती है।[5] FIB माध्यमिक इलेक्ट्रॉन इमेजिंग का एक अन्य लाभ यह तथ्य है कि आयन बीम प्रोटीन की लेबलिंग में उपयोग किए जाने वाले फ्लोरोसेंट जांच से संकेत को नहीं बदलता है, इस प्रकार प्रतिदीप्ति सूक्ष्मदर्शी द्वारा प्राप्त छवियों के साथ FIB माध्यमिक इलेक्ट्रॉन छवियों को सहसंबंधित करने का अवसर पैदा करता है।[6][7]


नक़्क़ाशी

एक इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप के विपरीत, FIB स्वाभाविक रूप से नमूने के लिए विनाशकारी है। जब उच्च-ऊर्जा गैलियम आयन नमूने पर प्रहार करते हैं, तो वे सतह से परमाणुओं को बाहर निकालेंगे। गैलियम परमाणु भी सतह के शीर्ष कुछ नैनोमीटर में आयन आरोपण होगा, और सतह को अनाकार बना दिया जाएगा।

धूमिंग क्षमता के कारण, सूक्ष्म और नैनोस्केल पर सामग्री को संशोधित या मशीन करने के लिए, एफआईबी को सूक्ष्म और नैनो-मशीनिंग उपकरण के रूप में उपयोग किया जाता है। FIB माइक्रो मशीनिंग अपने आप में एक व्यापक क्षेत्र बन गया है, लेकिन FIB के साथ नैनो मशीनिंग एक ऐसा क्षेत्र है जो अभी भी विकसित हो रहा है। आमतौर पर इमेजिंग के लिए सबसे छोटा बीम आकार 2.5–6 एनएम होता है। सबसे छोटी मिल्ड विशेषताएं कुछ बड़ी (10-15 एनएम) होती हैं क्योंकि यह कुल बीम आकार और मिल्ड किए जा रहे नमूने के साथ बातचीत पर निर्भर करती है।

एफआईबी उपकरण सतहों को खोदने या मशीन करने के लिए डिज़ाइन किए गए हैं, एक आदर्श एफआईबी अगली परत में परमाणुओं के किसी भी व्यवधान के बिना, या सतह के ऊपर किसी भी अवशिष्ट व्यवधान के बिना एक परमाणु परत को दूर कर सकता है। अभी तक स्पटर के कारण मशीनिंग आमतौर पर उप-माइक्रोमीटर लंबाई के पैमाने पर सतहों को खुरदरा कर देती है।[8][9]


जमाव

एक FIB का उपयोग आयन बीम प्रेरित निक्षेपण के माध्यम से सामग्री जमा करने के लिए भी किया जा सकता है। FIB-सहायता प्राप्त रासायनिक वाष्प जमाव तब होता है जब एक गैस, जैसे टंगस्टन हेक्साकार्बोनिल (W(CO))6) को निर्वात कक्ष में पेश किया जाता है और नमूने पर रासायनिक शोषण की अनुमति दी जाती है। बीम के साथ एक क्षेत्र को स्कैन करके, अग्रगामी गैस वाष्पशील और गैर-वाष्पशील घटकों में विघटित हो जाएगी; गैर-वाष्पशील घटक, जैसे टंगस्टन, सतह पर एक निक्षेपण के रूप में रहता है। यह उपयोगी है, क्योंकि बीम के विनाशकारी स्पटरिंग से अंतर्निहित नमूने की रक्षा के लिए जमा धातु को बलिदान परत के रूप में उपयोग किया जा सकता है। लंबाई में नैनोमीटर से लेकर सौ माइक्रोमीटर तक, टंगस्टन धातु का जमाव धातु की रेखाओं को सही जगह पर रखने की अनुमति देता है। अन्य सामग्री जैसे प्लैटिनम, कोबाल्ट, कार्बन, सोना आदि भी स्थानीय रूप से जमा किए जा सकते हैं।[8][9]गैस की सहायता से निक्षेपण और FIB नक़्क़ाशी प्रक्रिया नीचे दिखाई गई है।[10]

मौजूदा अर्धचालक उपकरण को पैच या संशोधित करने के लिए अर्धचालक उद्योग में अक्सर FIB का उपयोग किया जाता है। उदाहरण के लिए, एक एकीकृत परिपथ में, गैलियम बीम का उपयोग अवांछित विद्युत कनेक्शनों को काटने के लिए, और/या कनेक्शन बनाने के लिए प्रवाहकीय सामग्री जमा करने के लिए किया जा सकता है। सेमीकंडक्टर्स के पैटर्न वाले डोपिंग में उच्च स्तर की सतह की बातचीत का उपयोग किया जाता है। FIB का उपयोग मास्कलेस इम्प्लांटेशन के लिए भी किया जाता है।

टीईएम तैयारी के लिए

अलग-अलग लंबाई के पैमानों पर दिखाए गए FIB का उपयोग करके तैयार किया गया TEM नमूना। बाईं ओर की दो छवियां नमूना तैयार करने वाले FIB पर अधिग्रहीत द्वितीयक इलेक्ट्रॉनों का उपयोग करके बनाए गए नमूने को दिखाती हैं। एटॉमिक रेजोल्यूशन स्कैनिंग ट्रांसमिशन इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोपी का उपयोग करके इमेज किए गए नमूने को दिखाने वाली सही छवि।

इलेक्ट्रान सम्प्रेषित दूरदर्शी के लिए नमूने तैयार करने के लिए एफआईबी का भी आमतौर पर उपयोग किया जाता है। टीईएम को बहुत पतले नमूनों की आवश्यकता होती है, आमतौर पर ~ 100 नैनोमीटर या उससे कम। ऐसे पतले नमूने तैयार करने के लिए आयन मिलिंग या Electropolishing जैसी अन्य तकनीकों का उपयोग किया जा सकता है। हालांकि, FIB का नैनोमीटर-स्केल रिज़ॉल्यूशन रुचि के सटीक क्षेत्र को चुनने की अनुमति देता है, जैसे कि शायद अनाज की सीमा या सामग्री में दोष। यह महत्वपूर्ण है, उदाहरण के लिए, एकीकृत सर्किट विफलता विश्लेषण में। यदि किसी चिप पर कई मिलियन में से एक विशेष ट्रांजिस्टर खराब है, तो उस एकल ट्रांजिस्टर का इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप नमूना तैयार करने में सक्षम एकमात्र उपकरण FIB है।[8][9]

ट्रांसमिशन इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोपी के लिए नमूने तैयार करने के लिए उपयोग किए जाने वाले एक ही प्रोटोकॉल का उपयोग नमूने के एक सूक्ष्म क्षेत्र का चयन करने, इसे निकालने और माध्यमिक आयन मास स्पेक्ट्रोमेट्री (एसआईएमएस) का उपयोग करके विश्लेषण के लिए तैयार करने के लिए भी किया जा सकता है।[11] एफआईबी नमूना तैयार करने की कमियां उपर्युक्त सतह क्षति और आरोपण हैं, जो उच्च-रिज़ॉल्यूशन जाली इमेजिंग टीईएम या इलेक्ट्रॉन ऊर्जा हानि स्पेक्ट्रोस्कोपी जैसी तकनीकों का उपयोग करते समय ध्यान देने योग्य प्रभाव उत्पन्न करते हैं। इस क्षतिग्रस्त परत को FIB मिलिंग द्वारा कम बीम वोल्टेज के साथ, या FIB प्रक्रिया के पूरा होने के बाद कम वोल्टेज वाले आर्गन आयन बीम के साथ आगे मिलिंग द्वारा कम किया जा सकता है।[12] FIB तैयारी क्रायोजेनिक रूप से जमे हुए नमूनों के साथ एक उपयुक्त सुसज्जित उपकरण में इस्तेमाल किया जा सकता है, जिससे जैविक नमूने, फार्मास्यूटिकल्स, फोम, स्याही और खाद्य उत्पादों जैसे तरल पदार्थ या वसा वाले नमूनों के क्रॉस सेक्शनल विश्लेषण की अनुमति मिलती है।[13] FIB का उपयोग द्वितीयक आयन मास स्पेक्ट्रोमेट्री (SIMS) के लिए भी किया जाता है। प्राथमिक केंद्रित आयन बीम के साथ नमूने की सतह को थूकने के बाद निकाले गए माध्यमिक आयनों को एकत्र और विश्लेषण किया जाता है।


संवेदनशील नमूनों के हस्तांतरण के लिए

एक केंद्रित आयन बीम (FIB) के अंदर स्थानांतरित होने पर तनाव और ट्रांसमिशन इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोपी (TEM) नमूनों (लैमेला (सामग्री), पतली फिल्मों, और अन्य यंत्रवत् और बीम संवेदनशील नमूनों) के न्यूनतम परिचय के लिए, लचीले धातु nanowire हो सकते हैं। आमतौर पर कठोर micromanipulator से जुड़ा होता है।

इस पद्धति के मुख्य लाभों में नमूना तैयार करने के समय (त्वरित वेल्डिंग और कम बीम करंट पर nanowires की कटिंग), और तनाव-प्रेरित झुकने, पीटी संदूषण और आयन बीम क्षति को कम करने में महत्वपूर्ण कमी शामिल है।[14] यह सीटू इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोपी में नमूना तैयार करने के लिए विशेष रूप से उपयुक्त है।

एटम जांच नमूना तैयार करने के लिए

परमाणु जांच टोमोग्राफी के लिए शंक्वाकार नमूने बनाने के लिए टीईएम नमूने बनाते समय एक ही क्रमिक मिलिंग कदम लागू किए जा सकते हैं। इस मामले में आयन एक कुंडलाकार मिलिंग पैटर्न में चले गए, जिसमें आंतरिक मिलिंग सर्कल को उत्तरोत्तर छोटा किया गया। बीम करंट आम तौर पर नमूना को नुकसान पहुंचाने या नष्ट करने से बचने के लिए आंतरिक चक्र जितना छोटा होता है, उतना ही कम होता है। [15]


एफआईबी टोमोग्राफी

केंद्रित आयन बीम एक नमूने में उप-माइक्रोन सुविधाओं के साइट-विशिष्ट 3डी इमेजिंग के लिए एक शक्तिशाली उपकरण बन गया है। इस FIB टोमोग्राफी तकनीक में, नमूने को एक इलेक्ट्रॉन बीम का उपयोग करके नई उजागर सतह की इमेजिंग करते हुए नमूने के लंबवत आयन बीम का उपयोग करके क्रमिक रूप से पिघलाया जाता है। यह तथाकथित, टुकड़ा और दृश्य दृष्टिकोण बड़े पैमाने पर नैनो-संरचनाओं को एक SEM के लिए उपलब्ध कई इमेजिंग मोडों की विशेषता की अनुमति देता है, जिसमें द्वितीयक इलेक्ट्रॉन, बैकस्कैटरेड इलेक्ट्रॉन और ऊर्जा फैलाने वाला एक्स-रे माप शामिल है। यह प्रक्रिया विनाशकारी है, क्योंकि प्रत्येक छवि को एकत्र करने के बाद नमूने को क्रमिक रूप से पिघलाया जा रहा है। छवियों की एकत्रित श्रृंखला को छवि स्टैक को पंजीकृत करके और कलाकृतियों को हटाकर 3D वॉल्यूम में फिर से बनाया गया है। एफआईबी टोमोग्राफी को नीचा दिखाने वाली प्रमुख कलाकृति आयन मिल करटेनिंग है, जहां मिल पैटर्न प्रत्येक छवि में बड़ी एपेरियोडिक धारियां बनाते हैं। छवि नष्ट करना का उपयोग करके आयन मिल करटेनिंग को हटाया जा सकता है। एफआईबी टोमोग्राफी दोनों कमरे और क्रायो तापमान के साथ-साथ सामग्री और जैविक नमूने दोनों पर की जा सकती है।

इतिहास

एफआईबी प्रौद्योगिकी का इतिहास

  • 1975: क्षेत्र उत्सर्जन प्रौद्योगिकी पर आधारित पहली FIB प्रणाली लेवी-सेटी द्वारा विकसित की गई थी[16][17] और ऑरलॉफ और स्वानसन द्वारा[18] और प्रयुक्त गैस क्षेत्र आयनीकरण स्रोत (GFIS)।
  • 1978: एलएमआईएस पर आधारित पहला एफआईबी सेलिगर एट अल द्वारा बनाया गया था।[19]

एलएमआईएस का भौतिकी

  • 1600: गिल्बर्ट ने प्रलेखित किया कि उच्च तनाव के तहत द्रव एक शंकु बनाता है।
  • 1914: ज़ेलेनी ने कोन और जेट का अवलोकन किया और फ़िल्माया
  • 1959: रिचर्ड फेनमैन ने आयन बीम के उपयोग का सुझाव दिया।
  • 1964: टेलर ने इलेक्ट्रो हाइड्रोडायनामिक्स (ईएचडी) के समीकरणों के बिल्कुल शंक्वाकार समाधान का उत्पादन किया
  • 1975: क्रोहन और रिंगो ने पहला उच्च चमक आयन स्रोत: LMIS का उत्पादन किया

LMIS और FIB के कुछ अग्रदूत[20]

  • महोनी (1969)
  • सुदराउड एट अल। पेरिस इलेवन ओरसे (1974)
  • ह्यूजेस रिसर्च लैब्स, सेलिगर (1978)
  • ह्यूजेस रिसर्च लैब्स, कुबेना (1978 -1993)
  • ऑक्सफोर्ड मैयर विश्वविद्यालय (1980)
  • कल्हम यूके, रॉय क्लैम्पिट प्रीवेट (1980)
  • ओरेगन ग्रेजुएट सेंटर, एल. स्वानसन (1980)
  • ओरेगन ग्रेजुएट सेंटर, जॉन ऑरलॉफ|जे. ऑरलॉफ़ (1974)
  • एमआईटी, जे. मेल्न्गैलिस (1980)

हीलियम आयन माइक्रोस्कोप (HeIM)

व्यावसायिक रूप से उपलब्ध उपकरणों में देखा जाने वाला एक अन्य आयन स्रोत एक हीलियम आयन स्रोत है, जो Ga आयनों की तुलना में स्वाभाविक रूप से नमूने के लिए कम हानिकारक है, हालांकि यह अभी भी विशेष रूप से उच्च आवर्धन और लंबे स्कैन समय पर छोटी मात्रा में सामग्री का स्पंदन करेगा। चूंकि हीलियम आयनों को एक छोटे जांच आकार में केंद्रित किया जा सकता है और SEM में उच्च ऊर्जा (>1 kV) इलेक्ट्रॉनों की तुलना में बहुत छोटा नमूना इंटरैक्शन प्रदान करता है, He आयन माइक्रोस्कोप अच्छी सामग्री विपरीत और उच्च गहराई के साथ समान या उच्च रिज़ॉल्यूशन वाली छवियां उत्पन्न कर सकता है। फोकस का। व्यावसायिक उपकरण उप 1 एनएम रिज़ॉल्यूशन में सक्षम हैं।[21][22]


== ध्यान केंद्रित आयन बीम सेटअप == में वीन फ़िल्टर

diagram showing the way the masses are selected
एफआईबी कॉलम में बड़े पैमाने पर चयन

गा आयनों के साथ इमेजिंग और मिलिंग हमेशा नमूना सतह के निकट गा निगमन में परिणत होते हैं। जैसा कि नमूना सतह स्पटरिंग यील्ड और आयन फ्लक्स (प्रति क्षेत्र प्रति समय आयनों) के समानुपाती दर पर दूर होता है, गा को नमूने में आगे प्रत्यारोपित किया जाता है, और गा की एक स्थिर-स्थिति प्रोफ़ाइल तक पहुंच जाती है। यह आरोपण अक्सर सेमीकंडक्टर की सीमा में एक समस्या है जहां गैलियम द्वारा सिलिकॉन को अरूपित किया जा सकता है। Ga LMI स्रोतों का वैकल्पिक समाधान प्राप्त करने के लिए, बड़े पैमाने पर फ़िल्टर किए गए कॉलम विकसित किए गए हैं, जो कि वीन फ़िल्टर तकनीक पर आधारित हैं। ऐसे स्रोतों में Au-Si, Au-Ge और Au-Si-Ge स्रोत शामिल हैं जो Si, Cr, Fe, Co, Ni, Ge, In, Sn, Au, Pb और अन्य तत्व प्रदान करते हैं।

एक वीन फ़िल्टर का सिद्धांत लंबवत इलेक्ट्रोस्टैटिक द्वारा प्रेरित विपरीत बलों के संतुलन और त्वरित कणों पर कार्य करने वाले एक चुंबकीय क्षेत्र पर आधारित है। उचित द्रव्यमान प्रक्षेपवक्र सीधा रहता है और द्रव्यमान चयन छिद्र से होकर गुजरता है जबकि अन्य द्रव्यमान रुक जाते हैं।[23] गैलियम के अलावा अन्य स्रोतों के उपयोग की अनुमति देने के अलावा, ये कॉलम विएन फिल्टर के गुणों को समायोजित करके विभिन्न प्रजातियों से स्विच कर सकते हैं। छोटे आयनों के साथ समोच्चों को परिष्कृत करने से पहले बड़े आयनों का उपयोग तेजी से मिलिंग करने के लिए किया जा सकता है। उपयुक्त मिश्र धातु स्रोतों के तत्वों के साथ अपने नमूनों को डोप करने की संभावना से उपयोगकर्ता भी लाभान्वित होते हैं।

बाद की संपत्ति को चुंबकीय सामग्री और उपकरणों की जांच में बहुत रुचि मिली है। खिज्रोएव और लिटविनोव ने चुंबकीय बल माइक्रोस्कोप (एमएफएम) की मदद से दिखाया है कि आयनों की एक महत्वपूर्ण खुराक है जो चुंबकीय गुणों में बदलाव का अनुभव किए बिना एक चुंबकीय सामग्री को उजागर कर सकती है। इस तरह के अपरंपरागत दृष्टिकोण से एफआईबी का शोषण करना आज विशेष रूप से अनुकूल है जब इतनी सारी नई तकनीकों का भविष्य तेजी से प्रोटोटाइप नैनोस्केल चुंबकीय उपकरणों को बनाने की क्षमता पर निर्भर करता है।[24]


यह भी देखें

संदर्भ

  1. ↑ Burnett, T.L.; Kelley, R.; Winiarski, B.; Contreras, L.; Daly, M.; Gholinia, A.; Burke, M.G.; Withers, P.J. (2016-02-01). "Xe प्लाज्मा FIB डुअल बीम माइक्रोस्कोपी द्वारा बड़ी मात्रा में सीरियल सेक्शन टोमोग्राफी". Ultramicroscopy (in English). 161: 119–129. doi:10.1016/j.ultramic.2015.11.001. ISSN 0304-3991. PMID 26683814.
  2. ↑ Orloff, Jon (1996). "केंद्रित आयन बीम के लिए इमेजिंग रिज़ॉल्यूशन की मौलिक सीमाएँ". Journal of Vacuum Science and Technology B. 14 (6): 3759. Bibcode:1996JVSTB..14.3759O. doi:10.1116/1.588663.
  3. ↑ Castaldo, V.; Hagen, C. W.; Rieger, B.; Kruit, P. (2008). "Ga[sup +] माइक्रोस्कोप में Sn गेंदों के अवलोकन में स्पटरिंग सीमा बनाम सिग्नल-टू-शोर सीमा". Journal of Vacuum Science and Technology B. 26 (6): 2107–2115. Bibcode:2008JVSTB..26.2107C. doi:10.1116/1.3013306.
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  5. ↑ "एफआईबी: रासायनिक कंट्रास्ट". Retrieved 2007-02-28.
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  7. ↑ Cite error: Invalid <ref> tag; no text was provided for refs named :1
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  13. ↑ "क्रायो-एसडीबी का उपयोग कर शीतल सामग्री की अनूठी इमेजिंग" (PDF). Retrieved 2009-06-06.
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